| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外光刻技术及工件台研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 国外研究现状综述 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国内研究现状综述 | 第11-12页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 双工件台及其上位机系统的整体介绍 | 第14-21页 |
| 2.1 系统的开发工具 | 第14页 |
| 2.2 工件台的主要任务 | 第14-16页 |
| 2.3 上位机软件系统整体概述 | 第16-19页 |
| 2.3.1 上位机任务分析 | 第17页 |
| 2.3.2 上位机软件系统整体结构 | 第17-19页 |
| 2.4 下位机系统简介 | 第19-20页 |
| 2.5 本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 上位机底层基本类的设计与实现 | 第21-52页 |
| 3.1 数据库类的设计与实现 | 第21-25页 |
| 3.1.1 数据库表的设计 | 第22-23页 |
| 3.1.2 C++builder6.0 中对数据库的操作 | 第23-25页 |
| 3.2 网络通讯模块的实现 | 第25-40页 |
| 3.2.1 通讯协议的制定 | 第26-28页 |
| 3.2.2 数据格式的定义 | 第28-29页 |
| 3.2.3 网络消息的解析 | 第29-33页 |
| 3.2.4 通讯流程的建立 | 第33-36页 |
| 3.2.5 消息机制 | 第36-40页 |
| 3.3 FDB 文件类的设计与实现 | 第40-45页 |
| 3.3.1 FDB 文件的结构 | 第40-43页 |
| 3.3.2 对 FDB 文件的操作 | 第43-45页 |
| 3.4 动态显示曲线类的设计与实现 | 第45-50页 |
| 3.4.1 函数的介绍和类的使用流程 | 第46-50页 |
| 3.4.2 动态显示曲线类的使用和 TSSocketForm 类 | 第50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 上位机系统功能的设计与实现 | 第52-75页 |
| 4.1 上位机系统的功能设计 | 第52-54页 |
| 4.2 用户登录和注册功能的实现 | 第54-58页 |
| 4.3 用户管理的实现 | 第58-59页 |
| 4.4 实时监控功能的实现 | 第59-63页 |
| 4.4.1 监控功能协议的制定 | 第59-61页 |
| 4.4.2 监测功能的实现 | 第61-63页 |
| 4.5 仿真和调试功能的实现 | 第63-68页 |
| 4.5.1 仿真与测试协议的制定 | 第64-66页 |
| 4.5.2 仿真与测试功能的实现 | 第66-68页 |
| 4.6 配置功能的实现 | 第68-69页 |
| 4.7 数据处理的实现 | 第69-73页 |
| 4.7.1 数据的保存 | 第70-71页 |
| 4.7.2 数据的查询与显示 | 第71-73页 |
| 4.8 本章小结 | 第73-75页 |
| 第5章 系统测试 | 第75-84页 |
| 5.1 配置文件的设置 | 第75-76页 |
| 5.2 系统的操作流程 | 第76页 |
| 5.3 与 VXWORKS 的通讯测试 | 第76-78页 |
| 5.4 系统联合模拟测试 | 第78-83页 |
| 5.4.1 用户登录注册以及用户管理功能测试 | 第78-79页 |
| 5.4.2 实时监测功能的测试 | 第79-81页 |
| 5.4.3 信息查询的测试 | 第81-83页 |
| 5.5 本章小结 | 第83-84页 |
| 结论 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-90页 |
| 致谢 | 第90页 |