晶圆划片机管控一体化系统的研究与开发
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 晶圆划切概述 | 第11-14页 |
| 1.2.1 晶圆相关介绍 | 第11-12页 |
| 1.2.2 常见的晶圆划切方式 | 第12-14页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.1 国内外划片机的发展现状与趋势 | 第14-15页 |
| 1.3.2 划片机控制软件的发展现状与趋势 | 第15-17页 |
| 1.4 课题的研究目标及主要内容 | 第17页 |
| 1.5 论文结构 | 第17-19页 |
| 第二章 划片机控制系统总体方案设计 | 第19-31页 |
| 2.1 系统的整体规划 | 第19-20页 |
| 2.2 系统结构及工作原理 | 第20-21页 |
| 2.3 系统硬件结构的设计 | 第21-26页 |
| 2.3.1 电机的选型 | 第21-23页 |
| 2.3.2 空气静压主轴的选型 | 第23页 |
| 2.3.3 传动部件的选型 | 第23-24页 |
| 2.3.4 光栅尺位移测量系统 | 第24页 |
| 2.3.5 运动控制器的选型 | 第24-26页 |
| 2.4 系统控制软件的设计 | 第26-30页 |
| 2.4.1 软件整体结构 | 第26-27页 |
| 2.4.2 模块化功能设计 | 第27-29页 |
| 2.4.3 控制系统的流程 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 砂轮划切的工艺管理 | 第31-55页 |
| 3.1 砂轮划切工艺管理总体结构 | 第31页 |
| 3.2 砂轮划切原理分析 | 第31-36页 |
| 3.2.1 划切加工过程分析 | 第31-35页 |
| 3.2.2 晶圆的崩裂 | 第35-36页 |
| 3.3 划切工艺参数管理 | 第36-41页 |
| 3.3.1 主轴转速参数管理 | 第36-37页 |
| 3.3.2 进给速度参数管理 | 第37页 |
| 3.3.3 划切路径管理 | 第37-38页 |
| 3.3.4 划切深度的管理 | 第38-39页 |
| 3.3.5 划切方式的管理 | 第39-41页 |
| 3.4 砂轮刀片管理 | 第41-47页 |
| 3.4.1 砂轮刀片分类 | 第41-43页 |
| 3.4.2 砂轮刀片的尺寸 | 第43页 |
| 3.4.3 刀片厚度与刀片突出量 | 第43-44页 |
| 3.4.4 刀片预切割俢磨 | 第44-45页 |
| 3.4.5 修刀板俢磨刀片 | 第45-47页 |
| 3.5 工艺管理系统的开发环境 | 第47-54页 |
| 3.5.1.Net平台与数据库技术 | 第47-48页 |
| 3.5.2 数据库访问技术ADO.NET | 第48-49页 |
| 3.5.3 工艺管理数据表设 | 第49-54页 |
| 3.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 划片控制系统 | 第55-74页 |
| 4.1 砂轮划片运动控制系统总体结构 | 第55页 |
| 4.2 运动控制系统组成及其原理 | 第55-61页 |
| 4.2.1 运动控制系统组成 | 第55-57页 |
| 4.2.2 运动控制工作原理 | 第57页 |
| 4.2.3 运动位置控制处理流程 | 第57-58页 |
| 4.2.4 复合前馈运动控制 | 第58-61页 |
| 4.3 运动执行系统 | 第61-70页 |
| 4.3.1 运动执行系统组成 | 第62页 |
| 4.3.2 运动控制器的运动控制及通讯 | 第62-65页 |
| 4.3.3 X/Y轴驱动系统的设计 | 第65-66页 |
| 4.3.4 Z轴驱动系统的设计 | 第66-69页 |
| 4.3.5 W轴驱动系统的设计 | 第69-70页 |
| 4.4 主轴运动执行系统 | 第70-72页 |
| 4.4.1 主轴与工业控制计算机的通讯 | 第70-72页 |
| 4.4.2 主轴的速度控制 | 第72页 |
| 4.5 本章小结 | 第72-74页 |
| 第五章 系统状态监控方法研究 | 第74-85页 |
| 5.1 系统可靠性与故障 | 第74-78页 |
| 5.1.1 系统可靠性 | 第74-77页 |
| 5.1.2 系统故障诊断的重要性 | 第77-78页 |
| 5.2 断电监测与处理办法 | 第78-80页 |
| 5.2.1 断电检测需求分析 | 第78页 |
| 5.2.2 断电检测与加工断点保护 | 第78-80页 |
| 5.3 主轴状态的实时检测 | 第80-83页 |
| 5.3.1 主轴状态检测的必要性 | 第80-81页 |
| 5.3.2 加强主轴系统散热 | 第81-82页 |
| 5.3.3 主轴气压状态监控 | 第82-83页 |
| 5.4 刀片状态监测 | 第83-85页 |
| 5.4.1 砂轮刀片测高状态检测的必要性 | 第83页 |
| 5.4.2 砂轮刀片非接触测高原理 | 第83页 |
| 5.4.3 砂轮刀片过程监控 | 第83-85页 |
| 第六章 工程验证 | 第85-93页 |
| 6.1 砂轮划片控制系统 | 第85-87页 |
| 6.2 砂轮划片工艺管理系统 | 第87-90页 |
| 6.2.1 划片工艺管理 | 第87-88页 |
| 6.2.2 砂轮刀片管理 | 第88-89页 |
| 6.2.3 砂轮刀片俢磨及预切割 | 第89-90页 |
| 6.3 砂轮划片过程监控 | 第90-91页 |
| 6.4 加工验证 | 第91-93页 |
| 第七章 总结与展望 | 第93-95页 |
| 7.1 全文总结 | 第93页 |
| 7.2 工作展望 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-99页 |
| 致谢 | 第99页 |
