| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 光刻机及其工件台概述 | 第12-13页 |
| 1.3 多轴运动控制系统技术研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3.1 多轴运动控制系统发展概况 | 第13-14页 |
| 1.3.2 工业计算机总线发展概况 | 第14-16页 |
| 1.4 工件台的多轴运动控制系统技术研究现状 | 第16-22页 |
| 1.4.1 工件台控制系统国内外研究进展 | 第16-17页 |
| 1.4.2 基于VME总线的工件台控制系统 | 第17-20页 |
| 1.4.3 基于ATCA总线的工件台控制系统 | 第20-22页 |
| 1.5 论文的研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 基于VPX总线的工件台运动控制系统总体方案设计 | 第23-41页 |
| 2.1 系统设计需求分析 | 第23-28页 |
| 2.1.1 工件台系统总体介绍 | 第23-26页 |
| 2.1.2 系统设计问题分析及需求提出 | 第26-28页 |
| 2.2 系统互连总线及关键硬件 | 第28-35页 |
| 2.2.1 互连总线选择 | 第28-30页 |
| 2.2.2 运动控制卡（MC_4DSP_VPX） | 第30-32页 |
| 2.2.3 光纤接口卡（FC_FPGA_VPX） | 第32-33页 |
| 2.2.4 主控卡（HOST_CPU_VPX） | 第33-34页 |
| 2.2.5 VPX机箱背板 | 第34-35页 |
| 2.3 基于RapidIO总线的控制系统硬件体系结构设计 | 第35-40页 |
| 2.3.1 控制系统总体层次结构划分 | 第35-36页 |
| 2.3.2 基于RapidIO总线的控制系统架构 | 第36-37页 |
| 2.3.3 工件台控制系统硬件体系结构详细设计及功能分析 | 第37-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 基于多核共享内存的系统数据并行交互机制 | 第41-51页 |
| 3.1 系统数据流结构 | 第41-42页 |
| 3.2 基于并行处理模型的数据交互方式 | 第42-44页 |
| 3.2.1 系统并行处理模型 | 第42-43页 |
| 3.2.2 数据交互方式分析 | 第43-44页 |
| 3.3 C6678的数据Cache一致性分析和维护 | 第44-47页 |
| 3.3.1 C6678的数据Cache一致性问题 | 第45-46页 |
| 3.3.2 C6678的数据Cache一致性维护操作 | 第46-47页 |
| 3.4 基于共享内存的数据交互 | 第47-50页 |
| 3.4.1 基于共享内存的数据存储空间规划 | 第47-48页 |
| 3.4.2 共享内存与本地内存LL2的数据地址对应关系 | 第48-49页 |
| 3.4.3 数据具体交互过程 | 第49-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 控制系统精密同步测控策略研究及技术实现 | 第51-64页 |
| 4.1 TMS320C6678的中断子系统结构和中断映射原理 | 第51-54页 |
| 4.1.1 TMS320C6678的中断子系统结构 | 第51-52页 |
| 4.1.2 片级中断控制器（INTC） | 第52-53页 |
| 4.1.3 核级中断控制器（CorePac Interrupt Control） | 第53-54页 |
| 4.2 工件台控制系统同步测控方案设计及分析 | 第54-57页 |
| 4.2.1 基于Direct I/O + Doorbell软中断模式的同步测控方案 | 第55页 |
| 4.2.2 基于Direct I/O + GPIO硬中断模式的同步测控方案 | 第55-56页 |
| 4.2.3 两种同步测控方案的比较分析 | 第56-57页 |
| 4.3 基于GPIO硬中断的多DSP同步技术实现 | 第57-58页 |
| 4.4 多核同步技术实现及分析 | 第58-61页 |
| 4.4.1 基于广播事件的多核同步触发实现 | 第58-60页 |
| 4.4.2 基于核间中断IPC的多核同步触发实现 | 第60-61页 |
| 4.4.3 两种多核同步方法的比较分析 | 第61页 |
| 4.5 系统同步时序最优化设计 | 第61-63页 |
| 4.5.1 最小测控模型建立 | 第61-62页 |
| 4.5.2 系统同步时序最优化详细设计 | 第62-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 工件台运动控制系统软件初步设计及实验验证 | 第64-75页 |
| 5.1 控制系统软件设计 | 第64-68页 |
| 5.1.1 工件台控制系统总体框架 | 第64页 |
| 5.1.2 工件台DSP伺服控制软件总体设计 | 第64-68页 |
| 5.2 控制系统测试与分析 | 第68-74页 |
| 5.2.1 测试系统平台简介 | 第68-69页 |
| 5.2.2 RapidIO数据传输实时性测试 | 第69-72页 |
| 5.2.3 多核同步实时性测试 | 第72-73页 |
| 5.2.4 系统总体实时性测试 | 第73-74页 |
| 5.3 本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 6.1 研究内容总结 | 第75-76页 |
| 6.2 工作展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第81-82页 |
