| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 部分词汇中英文对照 | 第13-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-27页 |
| 1.1 课题来源 | 第15页 |
| 1.2 课题背景及意义 | 第15-16页 |
| 1.3 国内外研究现状与趋势 | 第16-23页 |
| 1.3.1 半导体制造系统调度分类 | 第16-17页 |
| 1.3.2 半导体晶圆制造系统调度方法研究 | 第17-22页 |
| 1.3.3 主要研究方法的总结与比较 | 第22-23页 |
| 1.4 本文主要研究内容和方法 | 第23-24页 |
| 1.5 章节安排 | 第24-27页 |
| 第二章 半导体晶圆制造系统概述 | 第27-43页 |
| 2.1 半导体晶圆制造过程 | 第27-34页 |
| 2.1.1 半导体晶圆制造过程简介 | 第27-28页 |
| 2.1.2 半导体晶圆制造的基本工艺过程 | 第28-30页 |
| 2.1.3 半导体晶圆制造生产线的特点 | 第30-31页 |
| 2.1.4 半导体制造系统调度特点 | 第31-34页 |
| 2.2 自动物料运输系统（AMHS） | 第34-38页 |
| 2.2.1 AMHS布局结构 | 第34-38页 |
| 2.2.2 半导体自动物料运输系统调度的重要性 | 第38页 |
| 2.3 自动物料运输系统中捷径shortcut | 第38-41页 |
| 2.4 半导体制造系统性能指标 | 第41-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 多目标Interbay自动物料运输系统实时优化调度 | 第43-55页 |
| 3.1 实时动态调度过程 | 第43-46页 |
| 3.1.1 动态调度简介 | 第43-44页 |
| 3.1.2 实时动态调度过程 | 第44-46页 |
| 3.2 晶圆lot运输成本模型 | 第46-48页 |
| 3.2.1 关键性能指标的选取 | 第46页 |
| 3.2.2 晶圆lot运输成本模型的建立 | 第46-48页 |
| 3.4 运输小车派发策略 | 第48-52页 |
| 3.5 基于匈牙利算法的Interbay物料运输系统最优指派过程 | 第52-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 多目标动态权重参数调节模型 | 第55-67页 |
| 4.1 模糊逻辑 | 第55-56页 |
| 4.2 定义输入变量 | 第56-58页 |
| 4.3 隶属度函数 | 第58-61页 |
| 4.3.1 输入变量的模糊划分 | 第58页 |
| 4.3.2 隶属度函数的确定 | 第58-61页 |
| 4.4 改进模糊规则 | 第61-64页 |
| 4.4.1 模糊规则敏感性分析 | 第61-62页 |
| 4.4.2 模糊规则拓展 | 第62-64页 |
| 4.5 动态权重模型的Takagi-Sugeno模糊推理过程 | 第64-66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 基于Arena的AMHS建模与仿真分析 | 第67-89页 |
| 5.1 Arena软件简介 | 第67-68页 |
| 5.2 300mm分离式AMHS仿真模型建立 | 第68-73页 |
| 5.2.1 HP TRC模型的特点 | 第68-70页 |
| 5.2.2 AMHS仿真模型假设 | 第70-73页 |
| 5.3 Arena仿真模型的建立 | 第73-77页 |
| 5.3.1 仿真模型建立过程 | 第73-75页 |
| 5.3.2 仿真模型的二次开发 | 第75-77页 |
| 5.4 仿真实验及数据处理 | 第77-87页 |
| 5.5 本章小结 | 第87-89页 |
| 第六章 总结与展望 | 第89-93页 |
| 6.1 总结 | 第89-90页 |
| 6.2 本文主要创新点 | 第90-91页 |
| 6.3 未来工作展望 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-101页 |
| 作者在攻读硕士学位期间公开发表的论文及专利 | 第101-102页 |
| 作者在攻读硕士学位期间参与的项目及奖励 | 第102-103页 |
| 致谢 | 第103-105页 |
| 附录 半导体晶圆AMHS实时调度部分源代码 | 第105-109页 |
