| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 极紫外光刻机光源的研究 | 第8-11页 |
| 1.2 极紫外光源等离子体特性的研究 | 第11-16页 |
| 1.3 论文的主要内容 | 第16-18页 |
| 2 Nd:YAG激光Sn等离子体羽辉膨胀特性的研究 | 第18-34页 |
| 2.1 基本原理 | 第18-21页 |
| 2.2 实验装置及调试 | 第21-24页 |
| 2.3 实验结果与分析 | 第24-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 脉冲Nd:YAG激光Sn等离子体发射光谱研究 | 第34-49页 |
| 3.1 激光等离子体诊断 | 第34-37页 |
| 3.2 等离子体的发射光谱诊断原理 | 第37-40页 |
| 3.3 实验装置及调试 | 第40-43页 |
| 3.4 实验结果及分析 | 第43-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 4 Nd:YAG与CO_2脉冲激光等离子体特性的比较 | 第49-58页 |
| 4.1 Nd:YAG与CO_2脉冲激光的比较 | 第49-51页 |
| 4.2 Nd:YAG与CO_2激光Sn等离子体羽辉的比较 | 第51-55页 |
| 4.3 Nd:YAG与CO_2激光Sn等离子体光谱的比较 | 第55-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 总结与展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 附录 1 | 第65页 |
