基于DLP应用的光刻物镜设计与微型投影机光学系统研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 本课题的研究背景 | 第12-13页 |
| 1.2 光刻技术简介 | 第13-17页 |
| 1.2.1 有掩模光刻 | 第13-14页 |
| 1.2.2 无掩模光刻 | 第14-17页 |
| 1.3 微投影显示简介 | 第17-19页 |
| 1.4 本文研究的内容 | 第19-21页 |
| 第二章 DLP数字光处理技术 | 第21-33页 |
| 2.1 DMD简介 | 第21-26页 |
| 2.1.1 DMD结构及工作原理 | 第21-23页 |
| 2.1.2 灰度图与彩色图显示原理 | 第23-24页 |
| 2.1.3 高清DMD芯片 | 第24-26页 |
| 2.2 照明光源 | 第26-27页 |
| 2.3 均束器件 | 第27-28页 |
| 2.4 投影物镜 | 第28-32页 |
| 2.4.1 柯克三片式物镜 | 第28-29页 |
| 2.4.2 天塞物镜 | 第29页 |
| 2.4.3 匹兹伐型物镜 | 第29-30页 |
| 2.4.4 双高斯型物镜 | 第30-31页 |
| 2.4.5 反远距结构物镜 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 DLP数字光刻投影物镜设计 | 第33-50页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 设计要点 | 第33-36页 |
| 3.2.1 光学材料选取 | 第33-34页 |
| 3.2.2 基本结构选取 | 第34-35页 |
| 3.2.3 基本参数确定 | 第35-36页 |
| 3.3 几何像差理论与像质评价方法 | 第36-45页 |
| 3.4 优化过程 | 第45页 |
| 3.5 结果分析 | 第45-49页 |
| 3.5.1 点列图 | 第45-46页 |
| 3.5.2 光程差图 | 第46-47页 |
| 3.5.3 调制传递函数MTF | 第47-48页 |
| 3.5.4 场曲和畸变 | 第48页 |
| 3.5.5 公差分析 | 第48-49页 |
| 3.6 结论 | 第49-50页 |
| 第四章 DLP微型投影机光学系统仿真研究 | 第50-63页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 DLP微型投影机光学系统结构 | 第50-61页 |
| 4.2.1 照明光源 | 第52-53页 |
| 4.2.2 准直系统 | 第53-54页 |
| 4.2.3 均束系统 | 第54页 |
| 4.2.4 全反射棱镜 | 第54-55页 |
| 4.2.5 成像系统 | 第55-61页 |
| 4.3 DLP微型投影机光学系统的建模与仿真结果 | 第61-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 总结与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读学位期间发表的论文及申请的专利 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
