| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 半导体硅晶片的特性和加工工艺 | 第11-14页 |
| 1.2.1 单晶硅的结构和性能 | 第11-13页 |
| 1.2.2 硅晶片加工工艺概述 | 第13-14页 |
| 1.3 硅晶片切割机理的概述 | 第14-17页 |
| 1.3.1 切削机理概述 | 第14-15页 |
| 1.3.2 划刀片切削时存在的问题 | 第15-17页 |
| 1.4 切割硅晶片刀具的加工工艺和结构优化的研究现状 | 第17-20页 |
| 1.4.1 国内外研究现状 | 第17-20页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 划刀片的加工工艺 | 第21-37页 |
| 2.1 划刀片的车削加工工艺 | 第21-24页 |
| 2.1.1 分析零件图样 | 第21页 |
| 2.1.2 加工准备 | 第21页 |
| 2.1.3 量具选用 | 第21页 |
| 2.1.4 确定刀具和工序卡 | 第21-24页 |
| 2.2 划刀片的电镀工艺 | 第24-28页 |
| 2.2.1 电镀原理简介 | 第24-25页 |
| 2.2.2 金刚石刀具研制方法 | 第25-26页 |
| 2.2.3 金刚石刀具的制备研究 | 第26-28页 |
| 2.3 划刀片的后续加工工艺 | 第28-32页 |
| 2.3.1 镍腐蚀 | 第29页 |
| 2.3.2 研磨 | 第29-30页 |
| 2.3.3 轮廓修正 | 第30页 |
| 2.3.4 磨削 | 第30-31页 |
| 2.3.5 铝腐蚀 | 第31页 |
| 2.3.6 抛光 | 第31-32页 |
| 2.4 划刀片的试切削 | 第32-37页 |
| 2.4.1 刀具耐用度的概述 | 第32-33页 |
| 2.4.2 试切削 | 第33-37页 |
| 第三章 电镀参数对划刀片寿命影响 | 第37-52页 |
| 3.1 电镀参数对划刀片寿命的影响 | 第37-38页 |
| 3.1.1 刀具寿命的概述 | 第37页 |
| 3.1.2 电镀参数对划刀片寿命的影响 | 第37-38页 |
| 3.2 正交实验 | 第38-40页 |
| 3.2.1 正交实验概述 | 第38页 |
| 3.2.2 正交表 | 第38-39页 |
| 3.2.3 两列间交互作用表 | 第39页 |
| 3.2.4 表头设计 | 第39-40页 |
| 3.2.5 正交试验结果分析 | 第40页 |
| 3.3 正交试验设计用于电镀参数优化 | 第40-45页 |
| 3.3.1 测试分析 | 第41-42页 |
| 3.3.2 实验结果分析 | 第42-43页 |
| 3.3.3 四因素对镀层的影响 | 第43-44页 |
| 3.3.4 工艺优化 | 第44-45页 |
| 3.4 划刀片的应用 | 第45-52页 |
| 3.4.1 划片实验 | 第45页 |
| 3.4.2 实验结果分析 | 第45-51页 |
| 3.4.3 结论与展望 | 第51-52页 |
| 第四章 划刀片的结构及切削参数的优化 | 第52-69页 |
| 4.1 划刀片刀刃结构形状的概述 | 第52-55页 |
| 4.1.1 划刀片的端面形状 | 第52页 |
| 4.1.2 划刀片的刀刃长度 | 第52-54页 |
| 4.1.3 划刀片刀刃含金刚石颗粒度 | 第54-55页 |
| 4.1.4 划刀片刀刃的厚度 | 第55页 |
| 4.2 金刚石粒度的优化 | 第55-58页 |
| 4.2.1 金刚石粒度的类型 | 第55-57页 |
| 4.2.2 金刚石粒度对刀刃的影响及优化 | 第57-58页 |
| 4.3 结合剂对划刀片的影响 | 第58-59页 |
| 4.4 切削参数的优化 | 第59-69页 |
| 4.4.1 划刀片切削机理的概述 | 第59-61页 |
| 4.4.2 切削用量的优化 | 第61-65页 |
| 4.4.3 切削液的优化 | 第65-69页 |
| 第五章 基于噪声测试的划刀片结构优化 | 第69-78页 |
| 5.1 声学的基本理论和分析方法 | 第69-71页 |
| 5.1.1 声学基本理论 | 第69-70页 |
| 5.1.2 噪声及噪声源识别方法的概述 | 第70-71页 |
| 5.2 噪声实验 | 第71-76页 |
| 5.2.1 噪声实验系统介绍 | 第72-73页 |
| 5.2.2 实验样机和测点布置 | 第73页 |
| 5.2.3 实验内容 | 第73-74页 |
| 5.2.4 噪声实验结果分析 | 第74-76页 |
| 5.3 结构优化 | 第76-77页 |
| 5.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 第六章 总结与展望 | 第78-80页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第78页 |
| 6.2 本文创新点 | 第78-79页 |
| 6.3 进一步工作建议 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第83-84页 |
| 附录：划刀片零件图纸 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |