水导激光切割晶圆预对准及水束激光耦合技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景及研究目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 水束与激光耦合技术研究现状与分析 | 第11-15页 |
| 1.3 晶圆预对准技术研究现状与分析 | 第15-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 晶圆预对准系统设计 | 第18-30页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 系统方案设计 | 第18-19页 |
| 2.2.1 系统功能分析 | 第18-19页 |
| 2.2.2 系统结构设计 | 第19页 |
| 2.3 视觉系统设计 | 第19-25页 |
| 2.3.1 视觉系统结构设计 | 第19-20页 |
| 2.3.2 摄像机参数与选型 | 第20-21页 |
| 2.3.3 视觉系统标定 | 第21-25页 |
| 2.4 运动控制系统设计 | 第25-29页 |
| 2.4.1 CNC 数控系统 | 第26-28页 |
| 2.4.2 电机与伺服驱动器 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 预对准算法研究 | 第30-40页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 图像处理 | 第30-34页 |
| 3.2.1 图像增强 | 第30-32页 |
| 3.2.2 边缘检测 | 第32-33页 |
| 3.2.3 直线检测 | 第33-34页 |
| 3.3 圆拟合 | 第34-36页 |
| 3.4 缺口或切边检测 | 第36-38页 |
| 3.5 坐标变换 | 第38-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 水束激光耦合技术研究 | 第40-54页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 水射流稳定性分析 | 第40-48页 |
| 4.2.1 两相流数学模型 | 第40-42页 |
| 4.2.2 喷嘴结构设计 | 第42页 |
| 4.2.3 水束光纤流体动力学仿真 | 第42-48页 |
| 4.3 激光的传输与能量衰减分析 | 第48-50页 |
| 4.3.1 激光传输特性 | 第48-50页 |
| 4.3.2 激光能量衰减特性 | 第50页 |
| 4.4 耦合装置设计 | 第50-53页 |
| 4.4.1 耦合装置结构设计 | 第50-51页 |
| 4.4.2 耦合腔内水流场流体动力学仿真 | 第51-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 实验结果与分析 | 第54-60页 |
| 5.1 硬件平台搭建 | 第54-55页 |
| 5.2 视觉系统标定实验 | 第55-58页 |
| 5.3 晶圆预对准实验 | 第58-59页 |
| 5.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
