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半导体晶圆制造系统的瓶颈管理及调度优化研究
酞菁类n型半导体材料的合成及性质表征
受主掺杂SnO2基稀磁半导体的结构及磁性的研究
基于AZO籽晶层生长ZnO纳米棒阵列异质结光电响应特性的研究
低压高效的串联式有机电致发光器件的性能研究
高迁移率二硫化钼场效应晶体管的研究
高效率的串联有机电致发光器件的性能研究
磷化铟量子点及其碳纳米杂化材料的制备与光电性能研究
尺寸、温度和压强对层状半导体材料的禁带宽度和弹性模量的影响
InGaN/GaN异质结构的侧向外延生长及纳米线发光器件研究
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拓扑绝缘体Bi2Se3纳米线的微加工及自旋注入检测
Si(111)上AIN薄膜的生长与研究
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利用旋涂掺杂工艺与激光退火技术制备高性能Ge器件的研究
GaN基LED芯片键合工艺研究
GaN衬底材料相关技术研究
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TiZnSnO非晶氧化物半导体薄膜制备及应用研究
重掺杂直拉硅单晶的氧化诱生层错
半导体基局域表面等离激元材料合成及其性能研究
α-NbZnSnO薄膜的制备与表征及其在薄膜场效应晶体管中的应用
铜掺杂氧化锌稀磁半导体的缺陷结构、磁学操纵与光电响应性能研究
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面向生物分子检测的基于MoS2薄膜的场效应管的制备研究
二维半导体器件电子输运性质研究
电子束光刻的三维微结构的模拟计算
纳米光栅的位相掩膜相干光光刻方法与工艺研究
磁控溅射法制备MgAlSnO薄膜及其特性的研究
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纳米CMOS器件多阱工艺单粒子效应机理研究
硫化钼二维材料的制备、光学性质及其器件性能研究
可调谐的n-ZnCdO/p-GaN异质结发光二极管的制备研究
P型GaN基材料电学性能的研究
非均匀界面电荷对pMOS及TFT阈值电压的影响研究
单晶SiC基片超精密加工表面及亚表面损伤研究
铟锌共掺及掺氟氧化亚铜的制备与性能的研究
8英寸薄层硅外延片工艺设计与实现
智能功率驱动芯片用SOI-FRD反向恢复特性的研究与优化
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数字光刻物镜设计与毛化微加工调Q改进技术研究
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超小型半导体器件的设计和仿真
单晶SiC基片超精密磨粒加工机理研究
半导体制造中组合设备的建模、优化调度与控制
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