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面向生物分子检测的基于MoS2薄膜的场效应管的制备研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
第一章 绪论第11-23页
    1.1 研究背景第11-14页
    1.2 国内外研究现状第14-20页
        1.2.1 场效应管的制备以及性能改善研究现状第15-16页
        1.2.2 纳米孔与场效应管集成制备进行生物分子检测研究现状第16-20页
    1.3 存在的问题及发展前景第20页
    1.4 课题来源及研究内容第20-23页
        1.4.1 课题来源第20-21页
        1.4.2 研究内容第21-23页
第二章 二硫化钼场效应管的制备与性能表征实验研究第23-36页
    2.1 引言第23-25页
    2.2 实验平台的搭建第25-26页
    2.3 二硫化钼场效应管的制备方法研究第26-30页
        2.3.1 氮化硅基底的制备第26页
        2.3.2 MoS_2薄膜的铺陈第26-30页
        2.3.3 金属电极的制备第30页
    2.4 二硫化钼场效应管的性能表征第30-35页
        2.4.1 场效应管导通性实验研究与结果分析第31-33页
        2.4.2 场效应管门极控制实验研究与结果分析第33-35页
    2.5 本章小结第35-36页
第三章 适用于液相的二硫化钼场效应管的制备与性能表征第36-49页
    3.1 引言第36-37页
    3.2 适用于液相的二硫化钼场效应管的制备研究第37-43页
    3.3 适用于液相的二硫化钼场效应管的性能表征第43-48页
        3.3.1 实验方法第43-44页
        3.3.2 空气环境下对场效应管导通性的测试研究第44页
        3.3.3 浸润环境下对场效应管导通性的测试研究第44-45页
        3.3.4 施加液栅电压对场效应管性能影响实验研究与结果分析第45-48页
    3.4 本章小结第48-49页
第四章 二硫化钼纳米孔生物分子检测实验研究第49-60页
    4.1 膜片钳实验平台第49-51页
    4.2 实验原理与过程第51-55页
    4.3 实验结果与分析第55-56页
    4.4 利用二硫化钼10nm以下纳米孔进行生物分子检测第56-58页
    4.5 本章小结第58-60页
第五章 总结与展望第60-62页
    5.1 工作总结第60-61页
    5.2 研究展望第61-62页
致谢第62-63页
参考文献第63-68页
攻读硕士期间发表的论文第68页

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