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GaN衬底材料相关技术研究

中文摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第11-25页
    1.1 引言第11页
    1.2 GaN衬底材料与器件的应用前景第11-12页
    1.3 GaN衬底材料制备方法第12-16页
        1.3.1 GaN体单晶制备方法第12-13页
        1.3.2 GaN薄膜异质外延方法第13-15页
        1.3.3 HVPE制备GaN厚膜衬底第15-16页
    1.4 采用HVPE生长自支撑GaN衬底第16-19页
    1.5 测试表征方法第19-21页
        1.5.1 扫描电子显微镜(SEM)第19页
        1.5.2 光致发光谱(PL)第19-20页
        1.5.3 X射线衍射第20页
        1.5.4 拉曼散射光谱(Raman)第20-21页
    1.6 本文的主要内容第21-23页
    参考文献第23-25页
第二章 GaN电化学和光助电化学腐蚀研究第25-43页
    2.1 引言第25页
    2.2 n型GaN电化学和光助电化学腐蚀实验第25-28页
    2.3 n型GaN电化学和光助电化学腐蚀实验结果与讨论第28-35页
        2.3.1 n型GaN电化学和光助电化学腐蚀的形貌分析第28-30页
        2.3.2 n型GaN电化学和光助电化学腐蚀制备多孔GaN结构第30-33页
        2.3.3 多孔GaN结构的表征第33-35页
    2.4 制备孔洞结构的GaN衬底模板第35-38页
    2.5 本章小结第38-40页
    参考文献第40-43页
第三章 GaN和蓝宝石的化学机械抛光研究第43-55页
    3.1 引言第43页
    3.2 化学机械抛光原理和实验第43-46页
        3.2.1 化学机械抛光原理第43-45页
        3.2.2 化学机械抛光实验第45-46页
    3.3 实验结果与讨论第46-51页
    3.4 本章小结第51-52页
    参考文献第52-55页
第四章 多片HVPE GaN生长研究第55-61页
    4.1 引言第55-56页
    4.2 新型立式HVPE的简介第56页
    4.3 实验结果与讨论第56-59页
    4.4 本章小结第59-60页
    参考文献第60-61页
第五章 结论第61-63页
致谢第63-64页
攻读硕士学位期间发表的文章第64-65页

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