| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 GaN衬底材料与器件的应用前景 | 第11-12页 |
| 1.3 GaN衬底材料制备方法 | 第12-16页 |
| 1.3.1 GaN体单晶制备方法 | 第12-13页 |
| 1.3.2 GaN薄膜异质外延方法 | 第13-15页 |
| 1.3.3 HVPE制备GaN厚膜衬底 | 第15-16页 |
| 1.4 采用HVPE生长自支撑GaN衬底 | 第16-19页 |
| 1.5 测试表征方法 | 第19-21页 |
| 1.5.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第19页 |
| 1.5.2 光致发光谱(PL) | 第19-20页 |
| 1.5.3 X射线衍射 | 第20页 |
| 1.5.4 拉曼散射光谱(Raman) | 第20-21页 |
| 1.6 本文的主要内容 | 第21-23页 |
| 参考文献 | 第23-25页 |
| 第二章 GaN电化学和光助电化学腐蚀研究 | 第25-43页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 n型GaN电化学和光助电化学腐蚀实验 | 第25-28页 |
| 2.3 n型GaN电化学和光助电化学腐蚀实验结果与讨论 | 第28-35页 |
| 2.3.1 n型GaN电化学和光助电化学腐蚀的形貌分析 | 第28-30页 |
| 2.3.2 n型GaN电化学和光助电化学腐蚀制备多孔GaN结构 | 第30-33页 |
| 2.3.3 多孔GaN结构的表征 | 第33-35页 |
| 2.4 制备孔洞结构的GaN衬底模板 | 第35-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-40页 |
| 参考文献 | 第40-43页 |
| 第三章 GaN和蓝宝石的化学机械抛光研究 | 第43-55页 |
| 3.1 引言 | 第43页 |
| 3.2 化学机械抛光原理和实验 | 第43-46页 |
| 3.2.1 化学机械抛光原理 | 第43-45页 |
| 3.2.2 化学机械抛光实验 | 第45-46页 |
| 3.3 实验结果与讨论 | 第46-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 第四章 多片HVPE GaN生长研究 | 第55-61页 |
| 4.1 引言 | 第55-56页 |
| 4.2 新型立式HVPE的简介 | 第56页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-61页 |
| 第五章 结论 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的文章 | 第64-65页 |
