| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第15-17页 |
| 1.1.1 选题背景 | 第15-16页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第16-17页 |
| 1.2 组合设备的调度研究综述 | 第17-21页 |
| 1.2.1 组合设备的结构 | 第17-18页 |
| 1.2.2 晶圆流模式 | 第18页 |
| 1.2.3 组合设备的调度与控制 | 第18-21页 |
| 1.3 本课题的研究内容 | 第21-23页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第21页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 Petri网简介 | 第23-32页 |
| 2.1 引言 | 第23-24页 |
| 2.2 Petri网的基本概念 | 第24-25页 |
| 2.3 面向进程的Petri网 | 第25-27页 |
| 2.4 面向资源的Petri网 | 第27-31页 |
| 2.5 小结 | 第31-32页 |
| 第三章 具有驻留时间约束和活动时间波动的单臂组合设备的调度 | 第32-67页 |
| 3.1 引言 | 第32-33页 |
| 3.2 Petri网建模 | 第33-37页 |
| 3.2.1 生产流程建模 | 第33-35页 |
| 3.2.2 活动时间建模 | 第35-37页 |
| 3.3 实时控制规则 | 第37-45页 |
| 3.4 晶圆驻留时间延迟上界分析 | 第45-54页 |
| 3.5 可调度性条件与调度算法 | 第54-62页 |
| 3.6 实例分析 | 第62-66页 |
| 3.7 小结 | 第66-67页 |
| 第四章 具有重入和驻留时间约束的双臂组合设备调度 | 第67-90页 |
| 4.1 引言 | 第67-69页 |
| 4.2 Petri网建模 | 第69-74页 |
| 4.2.1 组合设备的Petri网建模 | 第69-72页 |
| 4.2.2 对活动时间建模 | 第72-74页 |
| 4.3 单晶圆周期调度策略 | 第74-77页 |
| 4.4 组合设备的运行分析 | 第77-79页 |
| 4.5 可调度性条件与调度算法 | 第79-87页 |
| 4.6 实例分析 | 第87-89页 |
| 4.7 小结 | 第89-90页 |
| 第五章 单臂组合设备的故障响应策略 | 第90-109页 |
| 5.1 引言 | 第90页 |
| 5.2 Petri网建模 | 第90-95页 |
| 5.3 具有晶圆驻留时间约束的单臂组合设备的可调度条件 | 第95-98页 |
| 5.4 故障响应策略 | 第98-106页 |
| 5.5 实例分析 | 第106-108页 |
| 5.6 小结 | 第108-109页 |
| 结论 | 第109-112页 |
| 总结 | 第109-110页 |
| 未来工作的展望 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-123页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第123-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |