| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 太阳能电池 | 第10-12页 |
| 1.2.1 太阳的光谱分布 | 第10-11页 |
| 1.2.2 太阳能电池的工作原理 | 第11-12页 |
| 1.2.3 太阳能电池的转换效率 | 第12页 |
| 1.3 氧化亚铜(Cu_2O)及其制备方法 | 第12-14页 |
| 1.3.1 Cu_2O的基本性质 | 第12-14页 |
| 1.3.2 Cu_2O薄膜直流反应磁控溅射沉积 | 第14页 |
| 1.4 Cu_2O薄膜太阳能电池研究进展 | 第14-15页 |
| 1.5 本文的选题及研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 薄膜制备与性能表征方法 | 第16-23页 |
| 2.1 磁控溅射镀膜法 | 第16页 |
| 2.2 薄膜的热扩散掺杂 | 第16-17页 |
| 2.3 薄膜性能的表征方法 | 第17-23页 |
| 2.3.1 X 射线衍射仪(X-Ray diffraction, XRD) | 第17-18页 |
| 2.3.2 原子力显微镜 | 第18-19页 |
| 2.3.3 紫外-可见分光光度计 | 第19-20页 |
| 2.3.4 扫描电子显微镜和能量色散谱仪 | 第20页 |
| 2.3.5 霍尔效应测试 | 第20-21页 |
| 2.3.6 X射线光电子能谱 | 第21-23页 |
| 第3章 磁控溅射法制备纯相Cu_2O薄膜 | 第23-30页 |
| 3.1 薄膜制备方法与过程 | 第23-24页 |
| 3.2 Cu_2O薄膜制备基本条件的探索 | 第24-25页 |
| 3.3 Ar流量对Cu_2O薄膜制备的影响 | 第25-28页 |
| 3.4 溅射功率对薄膜制备的影响 | 第28-29页 |
| 3.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 铟、锌共掺杂Cu_2O薄膜的制备及性能表征 | 第30-43页 |
| 4.1 引言 | 第30页 |
| 4.2 In、Zn共掺杂Cu_2O薄膜的制备 | 第30-31页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第31-41页 |
| 4.3.1 XRD结果与讨论 | 第31-34页 |
| 4.3.2 SEM和EDS结果与讨论 | 第34-38页 |
| 4.3.3 AFM结果与讨论 | 第38-39页 |
| 4.3.4 紫外-可见透射光谱 | 第39页 |
| 4.3.5 Hall效应测试结果与讨论 | 第39-40页 |
| 4.3.6 XPS测试结果与讨论 | 第40-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第5章 氟掺杂Cu_2O薄膜的制备及性能表征 | 第43-60页 |
| 5.1 引言 | 第43页 |
| 5.2 Cu_2O薄膜的氟掺杂 | 第43-44页 |
| 5.3 实验部分 | 第44-45页 |
| 5.3.1 实验试剂 | 第44页 |
| 5.3.2 实验过程 | 第44-45页 |
| 5.4 结果与讨论 | 第45-59页 |
| 5.4.1 XRD结果与讨论 | 第45-50页 |
| 5.4.2 SEM和EDS结果与讨论 | 第50-56页 |
| 5.4.3 紫外-可见透射光谱 | 第56-57页 |
| 5.4.4 Hall效应测试结果与讨论 | 第57-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第69页 |