数字光刻物镜设计与毛化微加工调Q改进技术研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| CONTENT | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 本课题的研究背景 | 第12-13页 |
| 1.2 掩膜及无掩膜光刻技术发展状况 | 第13-19页 |
| 1.3 毛化技术发展状况 | 第19-20页 |
| 1.4 本文研究的内容 | 第20-22页 |
| 第二章 DMD无掩膜数字光刻系统简介 | 第22-31页 |
| 2.1 光刻系统光源研究 | 第22-27页 |
| 2.1.1 紫外光源 | 第22-24页 |
| 2.1.2 光源均匀性、部分相干性 | 第24-27页 |
| 2.2 空间光调制器件DMD | 第27-30页 |
| 2.2.1 DMD简介 | 第27-29页 |
| 2.2.2 黑栅效应 | 第29-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 分辨率为2μm的数字光刻投影物镜设计 | 第31-51页 |
| 3.1 前言 | 第31-32页 |
| 3.2 投影物镜结构选择方法及具体参数确定 | 第32-40页 |
| 3.3 初级像差理论及像质评价方法 | 第40-45页 |
| 3.4 优化 | 第45-46页 |
| 3.4.1 控制操作符选择 | 第46页 |
| 3.4.2 材料选择 | 第46页 |
| 3.5 结果分析 | 第46-50页 |
| 3.5.1 波像差 | 第47页 |
| 3.5.2 调制MTF | 第47-48页 |
| 3.5.3 场曲和畸变 | 第48-49页 |
| 3.5.4 公差分析 | 第49-50页 |
| 3.6 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 激光毛化系统简介 | 第51-56页 |
| 4.1 前言 | 第51页 |
| 4.2 固态脉冲YAG激光毛化系统 | 第51-52页 |
| 4.3 声光调Q技术 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 用于毛化的YAG激光器调Q方式改进研究 | 第56-68页 |
| 5.1 前言 | 第56页 |
| 5.2 改进固态脉冲YAG激光研究 | 第56-63页 |
| 5.2.1 稳定性研究 | 第56-60页 |
| 5.2.2 机械调Q技术 | 第60-63页 |
| 5.3 机械调Q实验及毛化效果分析 | 第63-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读学位期间发表的论文及申请的专利 | 第75-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
