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基于MEMS技术新型压电微驱动器的研制
MEMS器件用PZT薄膜的制备及性能研究
MEMS-DMs理论设计及工艺研究
计量型微位移精密工作台的研制
MEMS真空封装关键技术研究
基于精密电容微位移传感的两维纳米级定位系统的研究
振动式微机械陀螺的设计与仿真
音叉式石英微机械陀螺的驱动检测技术研究
石英音叉微机械陀螺的微弱信号数字检测技术的仿真与系统误差研究
一种新型压电陶瓷—金属复合换能器的研究
电磁悬浮平台系统的承载特性与控制研究
单自由度磁悬浮系统的设计与控制研究
磁悬浮平台承载特性研究
基于线性变化边界条件的电渗流仿真分析
智能制造中的微操作/微装配系统基础技术研究
基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究
虚拟样机技术在磁悬浮精密定位平台中的机电一体化研究
环矩形真空吸浮导轨的研究
微机电系统级建模与仿真研究
微机电系统中粘附的表面效应和尺寸效应的研究
直线电机驱动6DOF磁悬浮平台控制的研究
磁控形状记忆合金执行器的设计及特性研究
高信噪比电容式微机械陀螺的研究
基于粘度修正理论的微流体阻尼特性分析
微通道气体流动的分子动力学模拟
螺旋线样板校准系统的开发
基于MEMS技术的弹道修正微陀螺集成设计
MEMS系统级的跨平台建模技术研究
基于XML的MEMS加工工艺数据库设计与实现
高精度微定位器结构与控制研究
基于MEMS技术的微自适应光学系统的建模及关键技术研究
面向器件行为的MEMS宏建模方法研究
MEMS微变形镜的系统级建模研究
超磁致伸缩执行器的基础理论与实验研究
微细管道内表面检测及三维重建关键技术研究
微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法
透皮微针阵列的工艺研究
基于热变形的纳米级大进给力驱动部件的研究
大行程超精密工作台关键技术研究
压电微悬臂梁传感技术的研究
新型智能仪器的研究与设计
新型智能仪器远程重构的设计及研究
大行程压电微动台驱动控制系统的研究
MEMS湿法腐蚀工艺的研究
多自由度微位移工作台仿真的研究
纳米级六自由度微动工作台超精定位控制方法的研究
高Q值RF-MEMS平面电感的研究
4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究
点式压电智能结构振动控制方法改进的研究
多自由度压电陶瓷微位移器的研制
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