| 第一章 绪论 | 第1-16页 |
| 1．1 介绍 | 第7页 |
| 1．2 研究现状 | 第7-11页 |
| 1．2．1 MEMS设计层次 | 第7-8页 |
| 1．2．2 MEMS系统级建模与仿真 | 第8-10页 |
| 1．2．3 实验室研究基础 | 第10-11页 |
| 1．3 多端口组件网络方法 | 第11-13页 |
| 1．3．1 组件模型的表示形式 | 第11-12页 |
| 1．3．2 组件行为模型 | 第12-13页 |
| 1．3．3 组件网络 | 第13页 |
| 1．4 研究目的及意义 | 第13-14页 |
| 1．5 研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 VHDL-AMS通用建模技术研究 | 第16-31页 |
| 2．1 VHDL-AMS的模拟／混合信号建模特征 | 第16-19页 |
| 2．1．1 连续系统的行为描述 | 第17页 |
| 2．1．2 quantity定义未知数 | 第17-18页 |
| 2．1．3 同步语句 | 第18页 |
| 2．1．4 容差 | 第18-19页 |
| 2．2 面向MEMS设计的VHDL-AMS建模规范 | 第19-24页 |
| 2．2．1 通用类型和子类型的定义 | 第19-20页 |
| 2．2．2 通用属性和子属性的定义 | 第20-23页 |
| 2．2．3 MEMS常数的定义 | 第23-24页 |
| 2．3 组件及网络模型的VHDL-AMS编码技术 | 第24-30页 |
| 2．3．1 组件模型的编码技术 | 第24-29页 |
| 2．3．2 网络模型的编码技术 | 第29-30页 |
| 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 基于VHDL-AMS的MEMS组件建模技术 | 第31-46页 |
| 3．1 组件建模及编码技术 | 第31-41页 |
| 3．1．1 坐标系统 | 第31-34页 |
| 3．1．2 行为模型 | 第34-38页 |
| 3．1．3 VHDL-AMS编码实现 | 第38-41页 |
| 3．2 惯性组件库 | 第41-45页 |
| 3．2．1 梁 | 第41-42页 |
| 3．2．2 平板质量块 | 第42页 |
| 3．2．4 平板可变电容器 | 第42-43页 |
| 3．2．4 梳状可变电容器 | 第43-45页 |
| 3．2．5 锚点 | 第45页 |
| 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 系统级设计实现 | 第46-56页 |
| 4．1 系统级设计平台 | 第46-48页 |
| 4．2 仿真与验证 | 第48-52页 |
| 4．3 系统级建模与仿真 | 第52-55页 |
| 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 5．1 总结 | 第56-57页 |
| 5．2 展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 附录 VHDL-AMS编码的MEMS组件模型 | 第63-87页 |
| 梁模型 | 第63-73页 |
| 平板质量块模型 | 第73-83页 |
| 梳状可变电容器模型 | 第83-86页 |
| 锚点模型 | 第86-87页 |