| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪言 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·自适应光学技术的发展及应用 | 第11-13页 |
| ·本文的研究背景、意义及MEMS-DMs 的国内外发展现状 | 第13-17页 |
| ·本文的主要内容 | 第17-19页 |
| 2 硅微机械加工技术 | 第19-29页 |
| ·引言 | 第19-20页 |
| ·硅微加工技术中常用材料介绍 | 第20-25页 |
| ·硅微加工技术 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 连续面型可变形反射镜研究 | 第29-60页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·可变形反射镜工作原理 | 第29-38页 |
| ·连续面型可变形反射镜设计 | 第38-51页 |
| ·可变形反射镜性能分析及仿真 | 第51-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 4 连续面型可变形反射镜的制作及相关测试结果 | 第60-83页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·流片加工的前期研究 | 第60-62页 |
| ·反射镜的制作及工艺结果 | 第62-80页 |
| ·反射镜相关性能测试结果 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 5 分离式可变形反射镜的设计与制造 | 第83-122页 |
| ·引言 | 第83页 |
| ·分离式可变形反射镜的结构设计 | 第83-108页 |
| ·制作工艺研究 | 第108-119页 |
| ·相关测试结果 | 第119-121页 |
| ·本章小结 | 第121-122页 |
| 6 总结与展望 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-133页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的论文 | 第133-134页 |
| 附录2 连续面型可变形反射镜加工版图结构 | 第134-136页 |
| 附录3 获授权专利证书 | 第136页 |