| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 图表索引 | 第9-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-32页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·微阀 | 第14-18页 |
| ·主动阀 | 第14-16页 |
| ·静电致动微型阀 | 第14页 |
| ·压电致动微型阀 | 第14-15页 |
| ·电磁致动微型阀 | 第15页 |
| ·双金属致动微型阀 | 第15-16页 |
| ·被动阀 | 第16-17页 |
| ·无活动部件微型阀 | 第17-18页 |
| ·微泵 | 第18-30页 |
| ·有阀型微泵 | 第18-21页 |
| ·压电驱动微泵 | 第18-19页 |
| ·静电驱动微泵 | 第19页 |
| ·双金属驱动微泵 | 第19-20页 |
| ·热气驱动微泵 | 第20页 |
| ·电磁驱动微泵 | 第20-21页 |
| ·无阀型微泵 | 第21-30页 |
| ·电液动力微泵 | 第21-22页 |
| ·热驱动型无阀微泵 | 第22页 |
| ·基于粘性的微泵 | 第22-23页 |
| ·双膜泵 | 第23页 |
| ·收缩-扩张型微泵 | 第23-30页 |
| ·本课题研究的内容 | 第30-32页 |
| 第二章 无阀泵工作原理及其流动特性分析 | 第32-47页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·diffuser/nozzle 的流动阻力特性分析 | 第32-42页 |
| ·阻力的类型 | 第33-34页 |
| ·沿程阻力 | 第33页 |
| ·局部阻力 | 第33-34页 |
| ·理想流体在diffuser/nozzle 内的流动特性分析 | 第34-36页 |
| ·实际流体在diffuser/nozzle 内的流动特性分析 | 第36-42页 |
| ·diffuser 的压力复现现象 | 第42页 |
| ·无阀泵工作原理 | 第42-43页 |
| ·无阀泵的流量效率计算公式 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第三章 结构几何参数等因素的选取对无阀泵性能的影响 | 第47-87页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·无阀泵内流体的静态流动特性分析 | 第47-64页 |
| ·扩张管/收缩管内流动的数值计算 | 第49-51页 |
| ·数值计算结果及分析 | 第51-64页 |
| ·角度对瞬时流量和效率的影响 | 第51-57页 |
| ·仿真中的压力复现 | 第55-57页 |
| ·最小宽度对瞬时流量和效率的影响 | 第57-59页 |
| ·长度对瞬时流量和效率的影响 | 第59-62页 |
| ·厚度对瞬时流量和效率的影响 | 第62-64页 |
| ·无阀泵泵膜-流体耦合分析 | 第64-75页 |
| ·薄膜的模态分析 | 第64-66页 |
| ·无阀泵振动薄膜-流体之间的固液耦合分析 | 第66-75页 |
| ·无阀泵的动态特性分析 | 第75-85页 |
| ·实体建模 | 第76-78页 |
| ·边界条件的设定 | 第78-80页 |
| ·初始条件的设置 | 第80页 |
| ·动态仿真结果 | 第80-85页 |
| ·微泵扩张管/收缩管内速度、腔内压强和瞬时流量等变量的周期性变化 | 第80-83页 |
| ·振动的幅值和频率对无阀泵性能的影响 | 第83-85页 |
| ·本章小结 | 第85-87页 |
| 第四章 无阀泵的实验研究 | 第87-103页 |
| ·引言 | 第87页 |
| ·微泵的制作过程 | 第87-95页 |
| ·硅基泵体和阀体的制备过程 | 第88-91页 |
| ·上下层硼硅玻璃的制备 | 第91页 |
| ·硅基泵体阀体和玻璃片的键合 | 第91-94页 |
| ·影响阳极键合质量的主要因素 | 第92-93页 |
| ·硅与玻璃的键合过程 | 第93-94页 |
| ·PDMS 薄膜的制备 | 第94-95页 |
| ·无阀泵性能实验 | 第95-100页 |
| ·液动微泵实验 | 第96-99页 |
| ·实验装置 | 第96页 |
| ·无阀泵的性能测试及分析 | 第96-99页 |
| ·零背压下无阀泵的性能实验 | 第96-98页 |
| ·无阀泵背压性能实验 | 第98-99页 |
| ·气动微泵实验 | 第99-100页 |
| ·实验装置 | 第99页 |
| ·气动微泵实验结果 | 第99-100页 |
| ·无阀泵流量仿真结果和实验结果的比较 | 第100-102页 |
| ·流量仿真结果和实验结果 | 第100页 |
| ·结果分析 | 第100-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 第五章 结论与展望 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-111页 |
| 攻读博士期间论文及专利发表情况 | 第111-112页 |
| 作者简历 | 第112-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
