基于精密电容微位移传感的两维纳米级定位系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 引言 | 第8-14页 |
| 1．1 选题背景 | 第8-9页 |
| 1．2 精密定位技术运用概况 | 第9-13页 |
| 1．3 本人所做的工作 | 第13-14页 |
| 2 纳米定位系统设计 | 第14-25页 |
| 2．1 微位移平台的设计与计算 | 第14-17页 |
| 2．2 执行机的选取 | 第17-19页 |
| 2．3 电容传感器的设计与计算 | 第19-24页 |
| 2．4 小结 | 第24-25页 |
| 3 纳米定位系统开环定位测试 | 第25-33页 |
| 3．1 电容传感器的定标 | 第25-28页 |
| 3．2 压电陶瓷执行机的步阶定标和迟滞测量 | 第28-29页 |
| 3．3 微位移平台两个运动方向的耦合测量 | 第29-30页 |
| 3．4 圆轨迹的开环驱动结果 | 第30-31页 |
| 3．5 小结 | 第31-33页 |
| 4 纳米定位系统闭环定位测试和误差分析 | 第33-44页 |
| 4．1 定位系统的闭环工作原理 | 第33页 |
| 4．2 定位系统控制器的设计 | 第33-37页 |
| 4．3 定位系统的闭环循迹定位结果 | 第37-42页 |
| 4．4 定位系统的误差分析 | 第42-43页 |
| 4．5 小结 | 第43-44页 |
| 5 展望 | 第44-47页 |
| 5．1 微位移平台的改进设计方案 | 第44-46页 |
| 5．2 传感器的改进设计方案 | 第46页 |
| 5．3 控制方法的改进方案 | 第46页 |
| 5．4 小结 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-54页 |
| 附录1 硕士期间发表论文 | 第54-55页 |
| 附录2 PID 控制器程序框图 | 第55-56页 |
| 附录3 平面图形循迹定位驱动程序 | 第56-60页 |
