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结构
硅微单侧直脚谐振器与复合V型梁热致动器的机械性能研究
柔性微抓取器结构及驱动设计
虚拟暗室测试平台总体设计与算法研究
纳米级步进压电微动台结构设计与性能分析研究
基于激光多普勒技术的微机电系统运动检测
频闪成像与运动激励同步控制系统
七自由度柔顺手腕测试试验台控制系统开发
基于材料选择的精密工作台控制系统研究
质量式智能型喷油泵试验台量油装置的研制
激光多普勒微机电系统运动检测电路与软件设计
电液比例油压减振器试验台电气控制系统研制
电场活化聚合物特性的试验研究
高精度六自由度微动平台驱动技术研究
基于全柔性机构的微机械力学性能测控系统研究
全柔性机构的优化设计方法和实验研究
多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究
基于MEMS技术的自吸微泵的研制
基于MEMS细胞电融合芯片及其外围驱动电路的设计
基于MEMS的微型振动式发电机系统的研究
基于压电陶瓷驱动器的精密定位平台控制系统研究
MEMS微结构动态测试方法及关键技术研究
纳米压印及MEMS仿生功能表面制备的研究
基于MEMS技术的胰岛素集成系统的研究
电热微致动器的多能量域建模与仿真技术研究
压电双晶片型二自由度惯性冲击式精密驱动器理论与实验研究
大行程纳米移动平台中谐波减速装置的研究
嵌入式压电陶瓷驱动与控制系统研究
形状参数对MEMS霍尔器件性能影响研究
压电步进二维精密驱动器理论及实验研究
基于并行工程的仪表板造型可行性研究
电喷发动机试验台架的研发
基于机器视觉的宏/微双驱动微操作系统的研究
姿态稳定平台测控技术研究
扰动基座下激光陀螺寻北仪的数据处理研究
新型压电步进直线精密驱动器结构的研究
低雷诺数下微流混合效能的研究
非对称夹持压电双晶片惯性冲击驱动器试验研究
梯形微流道中电渗流的数值模拟研究
惯性冲击式压电单振子直线驱动器的试验研究
微流控芯片中核小体构象的布朗动力学模拟
减振器试验台液压及测控系统研究
提高硅微陀螺仪性能若干关键技术研究--正交误差与杂散电容分析研究
微流体陀螺测控电路研究
基于非谐振原理的硅微机械陀螺仪的结构设计研究
纳米尺度下润滑摩擦的分子动力学模拟
面向微细作业的微操作器的关键技术研究
纳米尺度电渗的分子动力学研究
基于MEMS工艺的轴向磁化永磁微电机结构优化及性能分析
微梁结构的非线性设计
电热驱动微夹钳的拓扑设计及相关问题研究
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