压电微悬臂梁传感技术的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-18页 |
| ·微悬臂梁概述 | 第7-10页 |
| ·微悬臂梁结构 | 第7-8页 |
| ·微悬臂梁的两种工作模式 | 第8-10页 |
| ·微悬臂梁传感技术的发展现状及应用 | 第10-14页 |
| ·基于微悬臂梁的气体传感器 | 第11页 |
| ·基于微悬臂梁的生物传感器 | 第11-13页 |
| ·基于微悬臂梁阵列的微传感器 | 第13-14页 |
| ·压电微悬臂梁传感技术的发展现状 | 第14-16页 |
| ·压电微悬臂梁加速度计 | 第14-15页 |
| ·压电微悬臂梁应力传感器 | 第15-16页 |
| ·选题背景、主要工作及意义 | 第16-18页 |
| 第二章 微悬臂梁共振频率传感及检测原理 | 第18-26页 |
| ·微悬臂梁共振频率的理论分析 | 第18-22页 |
| ·空气中微悬臂梁共振频率的理论分析 | 第18-20页 |
| ·液体中微悬臂梁共振频率的分析 | 第20-22页 |
| ·微悬臂梁激励与检测方法 | 第22-26页 |
| ·微悬臂梁的激励方法 | 第22页 |
| ·微悬臂梁检测方法 | 第22-26页 |
| 第三章 压电微悬臂梁传感系统设计 | 第26-34页 |
| ·系统结构 | 第26-28页 |
| ·压电微悬臂梁结构及支架设计 | 第28-30页 |
| ·压电微悬臂梁参数 | 第28-29页 |
| ·微悬臂梁支架设计 | 第29-30页 |
| ·压电微悬臂梁传感原理 | 第30-31页 |
| ·正压电效应 | 第30页 |
| ·逆压电效应 | 第30-31页 |
| ·压电微悬臂梁自激自检的工作原理 | 第31页 |
| ·压电微悬臂梁振动产生的压电电流分析 | 第31-34页 |
| 第四章 压电微悬臂梁检测电路及软件实现 | 第34-48页 |
| ·正弦波激励电路 | 第34-35页 |
| ·压电薄膜等效电路分析 | 第35-37页 |
| ·压电薄膜等效电路 | 第35-36页 |
| ·电压放大器和电荷放大器 | 第36-37页 |
| ·压电微悬臂梁检测电路设计 | 第37-42页 |
| ·电流-电压转换电路 | 第37-38页 |
| ·前置运算放大器 | 第38-39页 |
| ·压电微悬臂梁前置放大电路 | 第39-41页 |
| ·电压跟随器和二级放大电路 | 第41-42页 |
| ·压电微悬臂梁共振频率检测系统软件实现 | 第42-48页 |
| ·系统软件总体结构 | 第42-43页 |
| ·总程序 | 第43-44页 |
| ·各部分程序设计 | 第44-48页 |
| 第五章实验及结果讨论 | 第48-60页 |
| ·正弦激励电路实验 | 第48-49页 |
| ·压电薄膜漏电阻及等效电容测量 | 第49-55页 |
| ·放大器性能测试 | 第49-52页 |
| ·压电薄膜漏电阻及等效电容测量 | 第52-55页 |
| ·增加抵偿支路后的电路调节 | 第55-58页 |
| ·增加抵偿支路后的电路 | 第55-56页 |
| ·电路调节结果与讨论 | 第56-58页 |
| ·电路中的抗干扰技术 | 第58-60页 |
| 第六章结论与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 硕士期间科研及发表论文、专利情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
