| 第一章 绪论 | 第1-26页 |
| ·微机械陀螺的技术分类 | 第11-13页 |
| ·微机械陀螺的发展现状 | 第13-20页 |
| ·电容式微机械陀螺的信号处理方法概述 | 第20-23页 |
| ·电容式微机械陀螺中的技术难点 | 第23-24页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第24页 |
| ·论文的组织和安排 | 第24-26页 |
| 第二章 电容式微机械陀螺的结构设计与加工 | 第26-54页 |
| ·电容式微机械陀螺的结构设计 | 第27-29页 |
| ·微机械陀螺振动模态研究 | 第29-35页 |
| ·驱动模态频率的计算 | 第29-33页 |
| ·检测模态频率的计算 | 第33-35页 |
| ·电容式硅微机械陀螺的结构仿真 | 第35-39页 |
| ·梳齿电容的计算 | 第39-42页 |
| ·驱动模态的检测电容 | 第39-41页 |
| ·检测模态的检测电容 | 第41-42页 |
| ·检测模态的电调谐频率的计算 | 第42-44页 |
| ·关键工艺的设计 | 第44-52页 |
| ·微机械陀螺结构加工流程 | 第46-49页 |
| ·微机械真空封装罩子的加工工艺 | 第49-50页 |
| ·真空封装下的硅玻璃键合工艺 | 第50-52页 |
| 本章小结 | 第52-54页 |
| 第三章 电容式微机械陀螺信号处理方法的研究及仿真 | 第54-88页 |
| ·电容式微机械陀螺闭环驱动的研究 | 第56-67页 |
| ·上电闭环自振荡的基本原理 | 第57-59页 |
| ·无自动增益控制的闭环驱动 | 第59-61页 |
| ·自动增益控制的闭环驱动 | 第61-67页 |
| ·直流自动增益控制的闭环驱动的研究 | 第61-63页 |
| ·直流交流自动增益控制的闭环驱动 | 第63-64页 |
| ·交流自动增益控制的闭环驱动 | 第64-66页 |
| ·三种 AGC 自动增益控制的对比 | 第66-67页 |
| ·电容式微机械陀螺关键信号的推导 | 第67-74页 |
| ·静电驱动力 | 第69-70页 |
| ·运动质量块的振动速度 | 第70-73页 |
| ·哥氏力引起的位移 | 第73-74页 |
| ·电容式微机械陀螺角速率信号解调算法的推导 | 第74-82页 |
| ·信号解调的基本原理 | 第75-77页 |
| ·干扰信号对信号解调的影响 | 第77-79页 |
| ·高信噪比解调算法的研究 | 第79-82页 |
| ·电容式微机械陀螺的系统仿真 | 第82-87页 |
| ·闭环驱动过程的仿真 | 第82-84页 |
| ·角速率解调过程的仿真 | 第84-86页 |
| ·陀螺在冲击环境中的模拟与仿真 | 第86-87页 |
| 本章小结 | 第87-88页 |
| 第四章 电容式微机械陀螺接口电路的设计与仿真 | 第88-110页 |
| ·电容式微机械陀螺前置放大电路的设计 | 第88-105页 |
| ·传统的C/V 转换电路的设计与分析 | 第88-89页 |
| ·改进的C/V 转换电路的设计与分析 | 第89-93页 |
| ·前置C/V 转换电路的抗驱动信号干扰的设计 | 第93-95页 |
| ·高通滤波电路的设计 | 第95-99页 |
| ·限幅电路的设计 | 第99-100页 |
| ·AGC 自动增益电路的设计 | 第100-105页 |
| ·全波整流电路的设计 | 第101-103页 |
| ·低通滤波电路的设计 | 第103页 |
| ·比较放大电路的设计 | 第103-105页 |
| ·电容式微机械陀螺角速率解调电路的设计 | 第105-108页 |
| ·相位敏感解调电路的设计 | 第105-107页 |
| ·二阶低通滤波电路的设计 | 第107-108页 |
| 本章小结 | 第108-110页 |
| 第五章 电容式微机械陀螺的性能测试 | 第110-141页 |
| ·电容式微机械陀螺品质因子的测试 | 第110-127页 |
| ·品质因子测试的基本原理 | 第110-113页 |
| ·静电激励电容检测法 | 第113-115页 |
| ·机械激励电容检测法 | 第115-117页 |
| ·静电激励位移特性间接检测法 | 第117-127页 |
| ·陀螺分辨率的测试 | 第127-129页 |
| ·陀螺带宽的测试 | 第129-130页 |
| ·AGC 静态工作点的选取 | 第130-133页 |
| ·陀螺工作状态的测试 | 第133-136页 |
| ·闭环驱动控制电路中工作状态的测试 | 第133-135页 |
| ·信号解调电路中工作状态的测试 | 第135-136页 |
| ·灵敏度和线性度的测试 | 第136-137页 |
| ·带宽和灵敏度的优化 | 第137-139页 |
| 本章小结 | 第139-141页 |
| 第六章 结论与展望 | 第141-145页 |
| ·论文的主要研究内容及结论 | 第141-143页 |
| ·论文的主要创新点及贡献 | 第143-144页 |
| ·未来工作的展望 | 第144-145页 |
| 附录一 电容式微机械陀螺的电原理图 | 第145-149页 |
| 附录二 电容式微机械陀螺的 SIMULINK 仿真 | 第149-156页 |
| 参考文献 | 第156-165页 |
| 攻读博士学位期间所取得的研究成果 | 第165-166页 |
| 致谢 | 第166页 |