| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-21页 |
| ·微机电系统（MEMS）概述 | 第14-17页 |
| ·MEMS 技术相关的研究内容 | 第17页 |
| ·微机电系统仿真方法 | 第17-19页 |
| ·本文课题研究的意义和内容 | 第19-21页 |
| 第二章 节点法(NODAS)系统级建模与技术实现方法 | 第21-33页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·系统建模方法 | 第21-24页 |
| ·系统变量广义化 | 第21-24页 |
| ·集总参数模型 | 第24页 |
| ·节点分析法 | 第24-28页 |
| ·节点分析法概述 | 第25页 |
| ·MEMS 系统节点分析法（NODAS ） | 第25-28页 |
| ·硬件描述语言建模技术 | 第28-32页 |
| ·MAST HDL | 第28-30页 |
| ·MEMS 单元组件模型的技术实现 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 NODAS 节点法建立悬浮 MEMS 基本组件行为模型 | 第33-57页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·梁单元 | 第33-47页 |
| ·线性梁单元模型 | 第33-43页 |
| ·单元刚度、质量模型 | 第34-40页 |
| ·阻尼模型 | 第40-42页 |
| ·坐标转换 | 第42-43页 |
| ·非线性梁单元 | 第43-47页 |
| ·大变形下刚度修正 | 第44-46页 |
| ·轴向力修正 | 第46-47页 |
| ·平板质量块 | 第47-50页 |
| ·力学模型 | 第47-49页 |
| ·惯性效应模型 | 第49-50页 |
| ·阻尼模型 | 第50页 |
| ·锚点 | 第50-51页 |
| ·模型验证 | 第51-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 MEMS 静电单元建模与验证 | 第57-68页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·静电间隙单元 | 第57-62页 |
| ·静电力学模型 | 第57-60页 |
| ·静电接触模型 | 第60-61页 |
| ·阻尼模型 | 第61-62页 |
| ·静电梳齿单元 | 第62-63页 |
| ·静电梳齿力学模型 | 第62-63页 |
| ·静电梳齿接触模型 | 第63页 |
| ·模型验证 | 第63-67页 |
| ·静电间隙模型验证 | 第63-65页 |
| ·静电梳齿模型验证 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 热效应单元建模与验证 | 第68-80页 |
| ·引言 | 第68页 |
| ·热梁单元 | 第68-70页 |
| ·复合层梁中性轴计算 | 第68-69页 |
| ·复合梁弯曲 | 第69-70页 |
| ·梁热传导模型 | 第70-74页 |
| ·梁单元电热－结构耦合模型 | 第73-74页 |
| ·热效应单元的验证 | 第74-79页 |
| ·复合梁单元验证 | 第74-77页 |
| ·电热单元模型验证 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第六章 SABER 环境可视化 MEMS 系统的设计验证 | 第80-95页 |
| ·引言 | 第80页 |
| ·MEMS 系统参数化设计 | 第80-83页 |
| ·系统结构设计建模 | 第81-83页 |
| ·系统仿真 | 第83页 |
| ·仿真实例 | 第83-94页 |
| ·微加速度计 | 第84-87页 |
| ·静电平行板执行器 | 第87-90页 |
| ·电热执行器阵列 | 第90-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第七章 总结与展望 | 第95-97页 |
| ·本文主要工作与贡献 | 第95-96页 |
| ·后续工作展望 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-101页 |
| 致谢 | 第101-102页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文 | 第102-103页 |
| 附录 I(Deflection and stability of membrane structures under electrostatic and Casimir forces in microelectromechanical systems)90 | 第103-117页 |
