| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-24页 |
| ·微机电系统概述 | 第6-13页 |
| ·微机电系统运动检测技术的研究进展 | 第13-20页 |
| ·激光多普勒技术及其在微机电系统检测中的应用 | 第20-22页 |
| ·论文的研究目的和主要任务 | 第22-24页 |
| 第二章 硅微机械谐振器 | 第24-51页 |
| ·硅微机械谐振器的工作原理 | 第24-37页 |
| ·谐振器结构设计 | 第37-43页 |
| ·谐振器的工艺流程和加工结果 | 第43-49页 |
| ·谐振器初步测试实验 | 第49-51页 |
| 第三章 激光多普勒运动检测实验系统 | 第51-78页 |
| ·总体结构 | 第51-52页 |
| ·激光多普勒检测光学系统 | 第52-60页 |
| ·谐振器位置调整方法 | 第60-62页 |
| ·信号处理电路设计 | 第62-68页 |
| ·多普勒信号的特点与数据处理程序设计 | 第68-78页 |
| 第四章 误差分析 | 第78-92页 |
| ·多普勒信号频率增宽和谐振器高阶振动模态对测量的影响 | 第78-80页 |
| ·光学系统误差 | 第80-83页 |
| ·谐振器位置安装误差 | 第83-90页 |
| ·其他测量误差 | 第90-92页 |
| 第五章 实验与分析 | 第92-115页 |
| ·直流电动机转轴匀速转动测量实验 | 第92-98页 |
| ·加速度计校准仪振动测量实验 | 第98-101页 |
| ·微机电系统谐振器振动测量实验 | 第101-109页 |
| ·谐振器b、d 的比对测量实验 | 第109-115页 |
| 第六章 结论与展望 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-124页 |
| 已发表论文情况 | 第124-125页 |
| 致谢 | 第125页 |