振动式微机械陀螺的设计与仿真
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-16页 |
| ·微机电系统概述 | 第8-9页 |
| ·硅微机械陀螺简介 | 第9-13页 |
| ·陀螺性能指标 | 第13-14页 |
| ·本论文工作内容 | 第14-16页 |
| 第二章 微机械振动式陀螺基础及耦合理论分析 | 第16-37页 |
| ·微机械振动式陀螺工作原理 | 第16-18页 |
| ·微支撑梁模型与计算 | 第18-22页 |
| ·库埃特流阻尼模型 | 第22-24页 |
| ·微机械陀螺的驱动和检测 | 第24-28页 |
| ·静电电容驱动模型 | 第24-26页 |
| ·电容检测模型 | 第26-28页 |
| ·误差理论分析 | 第28-37页 |
| ·微机械陀螺动力学分析 | 第29-30页 |
| ·机械耦合作用 | 第30-32页 |
| ·正交误差及其影响 | 第32-33页 |
| ·寄生振动 | 第33-35页 |
| ·机械热噪声 | 第35-37页 |
| 第三章 电容式硅微机械陀螺的设计 | 第37-46页 |
| ·结构设计 | 第37-40页 |
| ·陀螺性能参数计算 | 第40-43页 |
| ·驱动静电力和敏感电容分析 | 第40-42页 |
| ·阻尼系数分析 | 第42-43页 |
| ·陀螺输出特性分析 | 第43-46页 |
| 第四章 解耦型微机械振动式陀螺的设计与仿真 | 第46-57页 |
| ·隔离耦合结构设计 | 第46-48页 |
| ·解耦型微机械振动式陀螺的结构设计和性能参数计算 | 第48-52页 |
| ·结构设计 | 第48-51页 |
| ·性能参数计算 | 第51-52页 |
| ·陀螺角速度敏感特性分析 | 第52-57页 |
| 第五章 解耦型微陀螺的电学模拟和制作流程 | 第57-63页 |
| ·解耦型微陀螺的电学模拟 | 第57-60页 |
| ·微机械陀螺驱动模态和检测模态等效电路模型 | 第57-58页 |
| ·微机械陀螺等效电路模型模拟 | 第58-60页 |
| ·解耦型微陀螺的制作流程 | 第60-63页 |
| 第六章 全文总结与未来工作展望 | 第63-65页 |
| ·全文工作总结 | 第63页 |
| ·未来工作展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-67页 |
