透皮微针阵列的工艺研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第一章 综述	第8-27页
·微型机械电子系统	第8-22页
·微机电系统的定义与特征	第8-9页
·微机电的发展历程	第9-12页
·微机电系统基础性研究	第12-13页
·微机电系统的材料与工艺	第13-20页
·微机电系统的应用	第20-22页
·微针阵列在生物医学上的应用	第22-26页
·基于微针阵列的微电极	第23-24页
·流体采样微针阵列	第24页
·透皮药物传输微针阵列	第24-25页
·存在的问题	第25-26页
·课题研究的内容与安排	第26-27页
第二章 透皮微针阵列的设计研究	第27-34页
·皮肤的结构特性和微针阵列的给药机理	第27-29页
·微针阵列的结构设计	第29-30页
·加工方案的确定	第30-33页
·基材的选择	第30页
·加工方案的确定	第30-33页
·拟解决的关键问题	第33页
·结论	第33-34页
第三章 微针尖加工工艺的研究	第34-56页
·微针加工工艺的研究背景	第34-36页
·微针尖加工工艺的研究	第36-55页
·硅的结构特性	第36-37页
·HF-HN03各向同性湿法刻蚀技术	第37-41页
·微针尖加工工艺的实验研究	第41-55页
·微针尖加工工艺的研究结论	第55-56页
第四章 微针孔刻蚀及微针套刻工艺的研究	第56-68页
·电感耦合等离子体刻蚀技术	第56-59页
·ICP刻蚀设备	第56-58页
·ICP刻蚀原理	第58-59页
·ICP刻蚀微针孔的研究	第59-66页
·微针套刻工艺的实验研究	第66-68页
第五章 总结与展望	第68-71页
·全文总结	第68-69页
·后期展望	第69-71页
参考文献	第71-75页
硕士生期间发表的学术论文和成果	第75-76页
致谢	第76页