4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究
| 第一章 引言 | 第1-20页 |
| ·全光网络与微型光开关概述 | 第9-14页 |
| ·光开关的应用 | 第10-12页 |
| ·MEMS 光开关阵列 | 第12-13页 |
| ·MEMS 封装 | 第13-14页 |
| ·国内外研究发展状况 | 第14-18页 |
| ·微镜型光开关阵列 | 第14-16页 |
| ·气泡光开关阵列 | 第16页 |
| ·干涉仪型光开关 | 第16-17页 |
| ·全息光开关 | 第17-18页 |
| ·本论文的主要研究目标及任务 | 第18-20页 |
| ·本论文的主要研究目标 | 第18页 |
| ·本论文的主要任务 | 第18-20页 |
| 第二章 光学设计与计算 | 第20-37页 |
| ·准直器件的选择 | 第20-22页 |
| ·高斯光学的基本原理与简化模型的建立 | 第22-23页 |
| ·高斯光学 | 第22-23页 |
| ·基于高斯光学的简化模型 | 第23页 |
| ·耦合分析与设计计算 | 第23-29页 |
| ·高斯光束出射后的分布 | 第23-24页 |
| ·高斯光束的球透镜变换 | 第24-25页 |
| ·高斯光束的与光纤的耦合 | 第25-27页 |
| ·设计计算 | 第27-29页 |
| ·其他损耗分析 | 第29-35页 |
| ·微镜角度偏差引起的耦合损耗 | 第29-30页 |
| ·球差损耗 | 第30-32页 |
| ·反射镜与高斯光斑大小匹配引起的损耗 | 第32-33页 |
| ·反射镜粗糙度引起的损耗 | 第33-35页 |
| ·反射镜变形引起的损耗 | 第35页 |
| ·菲涅尔损耗 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 光开关阵列的结构设计与工艺研究 | 第37-52页 |
| ·结构设计 | 第37-41页 |
| ·微镜及微梁的尺寸设计 | 第37-41页 |
| ·整体结构设计 | 第41页 |
| ·工艺实验 | 第41-47页 |
| ·光开关加工工艺流程 | 第42-43页 |
| ·PSG 的生长与牺牲层腐蚀 | 第43页 |
| ·隔离槽的剥落与金的图形化 | 第43-46页 |
| ·金的钻蚀问题 | 第46-47页 |
| ·SU-8 微镜的垂直度与表面粗糙度分析 | 第47-50页 |
| ·垂直度分析 | 第47-48页 |
| ·粗糙度分析 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 静电驱动器力学特性的仿真计算与实验研究 | 第52-67页 |
| ·仿真计算 | 第52-57页 |
| ·微梁翘起高度及应力分布 | 第52-54页 |
| ·模态分析 | 第54-55页 |
| ·ROM 方法及阈值电压的计算 | 第55-57页 |
| ·实验研究 | 第57-66页 |
| ·翘起高度的测量 | 第57-58页 |
| ·频率测试 | 第58-63页 |
| ·阈值电压的测量及分析 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 可靠性分析与封装设计 | 第67-77页 |
| ·可靠性分析 | 第67-72页 |
| ·MEMS 可靠性试验 | 第67-68页 |
| ·MEMS 光开关的失效分析 | 第68-72页 |
| ·可靠性设计 | 第72页 |
| ·封装 | 第72-76页 |
| ·采用球透镜的封装 | 第72-75页 |
| ·采用准直器的封装 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 结论 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 附录 | 第84-86页 |
| 个人简历 | 第86页 |
