| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 绪言 | 第8-11页 |
| 第二章 压电陶瓷微位移器的研究进展 | 第11-22页 |
| ·陶瓷微位移驱动器用材料概述 | 第11-12页 |
| ·压电材料 | 第11页 |
| ·电致伸缩陶瓷 | 第11-12页 |
| ·相变(反铁电相-铁电相)诱发应变陶瓷 | 第12页 |
| ·压电陶瓷材料的研究进展 | 第12-15页 |
| ·压电陶瓷微位移驱动器的研究进展 | 第15-21页 |
| ·压电陶瓷微位移驱动器的发展趋势 | 第21-22页 |
| 第三章 研究内容和所用原料及设备 | 第22-26页 |
| ·本研究的目标及其意义 | 第22页 |
| ·主要研究内容 | 第22-23页 |
| ·实验原料、实验设备及测试仪器 | 第23-26页 |
| 第四章 多自由度压电陶瓷微位移器的结构及驱动原理 | 第26-40页 |
| ·压电陶瓷微位移驱动器的工作原理 | 第26-27页 |
| ·多自由度压电陶瓷微位移器的结构设计 | 第27-29页 |
| ·多自由度压电陶瓷微位移器的理论分析 | 第29-40页 |
| ·铜板层内部的弯曲分析 | 第30-32页 |
| ·压电陶瓷层内部的弯曲分析 | 第32-34页 |
| ·微分方程的导出 | 第34-40页 |
| 第五章 压电陶瓷粉料的制备 | 第40-55页 |
| ·概述 | 第40-42页 |
| ·添加物的选择 | 第40-41页 |
| ·制粉工艺的选择 | 第41-42页 |
| ·柠檬酸盐聚合燃烧法制备PZT系粉料 | 第42-49页 |
| ·实验 | 第42-43页 |
| ·合成过程分析 | 第43-48页 |
| ·柠檬酸盐聚合燃烧合成的PZT、PZTS、PZTSM粉料 | 第48-49页 |
| ·粉料处理 | 第49-52页 |
| ·粉料的性能 | 第52-55页 |
| ·陶瓷片的制备 | 第52-53页 |
| ·电性能的测量 | 第53-55页 |
| 第六章 陶瓷片的烧结与极化 | 第55-57页 |
| 第七章 陶瓷的成型工艺 | 第57-64页 |
| ·概述 | 第57页 |
| ·流延成型 | 第57-60页 |
| ·流延工艺 | 第58页 |
| ·流延浆料制备 | 第58-60页 |
| ·PZTSM流延成型研究 | 第60-61页 |
| ·半干压成型 | 第61-64页 |
| ·半干压成型概述 | 第61-62页 |
| ·半干压成型微位移器用陶瓷元件 | 第62-64页 |
| 第八章 多自由度压电陶瓷微位移器的组装 | 第64-70页 |
| ·驱动电源的设计 | 第64-66页 |
| ·驱动机构的组装 | 第66-70页 |
| 第九章 微位移的测量 | 第70-87页 |
| ·微位移的测量方法 | 第70-72页 |
| ·微位移的测量步骤 | 第72-73页 |
| ·微位移器的位移实验 | 第73-86页 |
| ·改变陶瓷片两极电压 | 第74-84页 |
| ·铜圆杆沿着直线移动 | 第84-86页 |
| ·影响微位移器位移的因素 | 第86-87页 |
| 第十章 结论 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 个人简历及发表的文章 | 第94页 |