大行程超精密工作台关键技术研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·国内外大行程高精度工作台发展现状 | 第9-12页 |
| ·直线电机式超精密工作台 | 第9-10页 |
| ·摩擦式驱动超精密工作台 | 第10-11页 |
| ·两级进给超精密工作台 | 第11-12页 |
| ·各种工作台特点及存在的问题 | 第12-13页 |
| ·发展方向 | 第13-15页 |
| ·课题的提出及本文的目的 | 第15-16页 |
| 第二章 先进结构材料研究 | 第16-28页 |
| ·常见结构材料介绍 | 第16页 |
| ·材料热稳定性分析 | 第16-24页 |
| ·模型建立及边界条件 | 第16-18页 |
| ·静态热分析 | 第18-19页 |
| ·热—应力耦合分析 | 第19-21页 |
| ·变形的温度敏感性 | 第21-22页 |
| ·瞬态热分析 | 第22-23页 |
| ·本节结论 | 第23-24页 |
| ·材料振动特性分析 | 第24-27页 |
| ·建模 | 第24页 |
| ·模态分析 | 第24-27页 |
| ·本节结论 | 第27页 |
| ·本章结论 | 第27-28页 |
| 第三章 空气静压导轨设计 | 第28-49页 |
| ·气体润滑设计计算 | 第28-40页 |
| ·气体润滑技术简介 | 第28-29页 |
| ·气体润滑中典型节流器形式 | 第29-30页 |
| ·气体润滑基本方程 | 第30-31页 |
| ·气体润滑方程的数值解 | 第31-37页 |
| ·计算实例及结果 | 第37-39页 |
| ·本节结论 | 第39-40页 |
| ·闭式空气静压导轨刚度特性 | 第40-42页 |
| ·空气静压导轨结构设计 | 第42-47页 |
| ·典型空气静压导轨形式 | 第42-43页 |
| ·初步设计 | 第43-44页 |
| ·详细设计结构图 | 第44-46页 |
| ·静压导轨性能校核 | 第46-47页 |
| ·二维空气静压导轨 | 第47-48页 |
| ·本章结论 | 第48-49页 |
| 第四章 直接驱动技术研究 | 第49-72页 |
| ·直接驱动技术简介 | 第49-50页 |
| ·直线电机简介 | 第50-52页 |
| ·主要直线电机厂商及其产品简介 | 第52-54页 |
| ·BALDOR | 第52-53页 |
| ·YASKAWA | 第53页 |
| ·AEROTECH | 第53-54页 |
| ·ANORAD | 第54页 |
| ·直线电机选型计算 | 第54-56页 |
| ·直线电机控制技术发展简介 | 第56-58页 |
| ·直线交流伺服电机的PID控制 | 第58-68页 |
| ·概述 | 第58-61页 |
| ·控制规律选择 | 第61页 |
| ·PID控制器的设计方法 | 第61-62页 |
| ·系统数学模型分析 | 第62-63页 |
| ·PID控制仿真实验 | 第63-68页 |
| ·系统硬件平台选择介绍 | 第68-71页 |
| ·位移传感器 | 第68-70页 |
| ·运动控制卡 | 第70-71页 |
| ·本章结论 | 第71-72页 |
| 第五章 结论与展望 | 第72-74页 |
| ·本文结论 | 第72页 |
| ·展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 附录1 | 第77-81页 |
| 附录2 | 第81-87页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88页 |
