大行程压电微动台驱动控制系统的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·微驱动定位系统发展状况 | 第7-11页 |
| ·微位移致动器分类 | 第7-8页 |
| ·压电驱动器在微位移技术中的应用 | 第8-11页 |
| ·课题研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 压电微动台运动原理及结构设计 | 第13-32页 |
| ·压电微动台运动原理 | 第13-14页 |
| ·尺蠖运动原理 | 第13页 |
| ·“推—拉”原理简述 | 第13-14页 |
| ·压电微动台的设计要求 | 第14-15页 |
| ·压电陶瓷特性简介及压电元件选择 | 第15-22页 |
| ·压电陶瓷的性能参数 | 第15-16页 |
| ·压电陶瓷材料的固有特性 | 第16-18页 |
| ·压电元件的选择 | 第18-22页 |
| ·压电微动台结构设计 | 第22-27页 |
| ·总体设计 | 第22页 |
| ·夹紧装置和驱动装置的设计 | 第22-27页 |
| ·压电微动台的关键技术 | 第27-31页 |
| ·高精度导轨的设计 | 第27-30页 |
| ·加工的关键技术 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第三章 压电微动台驱动控制系统设计 | 第32-50页 |
| ·压电微动台控制系统设计 | 第32-38页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第32-34页 |
| ·控制系统软件设计 | 第34-38页 |
| ·压电陶瓷驱动器电源 | 第38-42页 |
| ·作用原理 | 第38-39页 |
| ·压电陶瓷驱动器电源设计要求 | 第39页 |
| ·压电陶瓷驱动器电源分类 | 第39-42页 |
| ·驱动电源设计实现 | 第42-47页 |
| ·设计框图 | 第42页 |
| ·驱动电源电路设计 | 第42-47页 |
| ·驱动电源性能测试 | 第47-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 第四章 压电微动台测试实验及结果分析 | 第50-62页 |
| ·压电材料性能实验 | 第50-53页 |
| ·电容测微仪的标定 | 第50-51页 |
| ·块状压电晶体的形变能力测试 | 第51-53页 |
| ·压电微动台性能测试 | 第53-60页 |
| ·实验装置 | 第53页 |
| ·实验数据及处理 | 第53-60页 |
| ·小结 | 第60-62页 |
| 全文总结及展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
