高精度微定位器结构与控制研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-16页 |
| ·微定位器概述 | 第7-11页 |
| ·微定位器分类 | 第7-9页 |
| ·微定位器应用范围 | 第9-11页 |
| ·微定位器研究现状 | 第11-14页 |
| ·国外研究现状 | 第11-12页 |
| ·国内研究现状 | 第12-14页 |
| ·本文的研究内容 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 第2章 柔性铰链和压电陶瓷 | 第16-28页 |
| ·柔性铰链 | 第16-20页 |
| ·柔性铰链概述 | 第16-17页 |
| ·柔性铰链的力学模型与解析法分析 | 第17-20页 |
| ·压电材料概述 | 第20-22页 |
| ·压电效应 | 第20-21页 |
| ·压电材料分类 | 第21-22页 |
| ·压电陶瓷研究 | 第22-26页 |
| ·压电陶瓷器件的结构形式 | 第22页 |
| ·压电陶瓷的基本特性分析 | 第22-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 一维微定位器结构设计分析 | 第28-46页 |
| ·两种柔性机构的对比分析 | 第28-34页 |
| ·柔性机构概述 | 第28-29页 |
| ·两种柔性机构的有限元分析 | 第29-32页 |
| ·两种柔性机构解析法设计 | 第32-34页 |
| ·两种柔性机构对比分析的结论 | 第34页 |
| ·基于柔性悬臂梁的柔性机构优化设计 | 第34-41页 |
| ·正交试验设计概述 | 第35页 |
| ·柔性机构的正交试验设计 | 第35-37页 |
| ·柔性机构的正交试验分析 | 第37-40页 |
| ·柔性机构应力校核 | 第40-41页 |
| ·柔性机构的模态分析 | 第41-43页 |
| ·仿真结果与理论值的比较分析 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 二维微定位器结构设计分析 | 第46-63页 |
| ·三种形式的二维微定位器结构 | 第46-49页 |
| ·叠加式结构 | 第46-47页 |
| ·串联式结构 | 第47-49页 |
| ·并联式结构 | 第49页 |
| ·并联式结构的解析法分析 | 第49-54页 |
| ·并联式结构模态分析 | 第54-55页 |
| ·并联式结构的交义干扰分析 | 第55-58页 |
| ·并联式结构的结构参数分析 | 第58-60页 |
| ·十字型二维柔性铰链结构初步研究 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 微位移测量与微定位器控制 | 第63-72页 |
| ·微位移测量方法 | 第63-68页 |
| ·电阻应变式位移传感器 | 第63-65页 |
| ·电感式位移传感器 | 第65-66页 |
| ·电容式位移传感器 | 第66-68页 |
| ·微定位器控制方案 | 第68-71页 |
| ·微定位器闭环控制硬件结构 | 第68-69页 |
| ·微定位器控制方法 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第6章 结论与展望 | 第72-74页 |
| ·研究结论 | 第72-73页 |
| ·工作展望 | 第73-74页 |
| 论文发表情况 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
