| 摘要 | 第1-11页 |
| 1 绪论 | 第11-19页 |
| 1．1 课题研究的目的、意义及动态 | 第11-13页 |
| 1．1．1 目的 | 第11页 |
| 1．1．2 意义 | 第11-12页 |
| 1．1．3 研究动态 | 第12-13页 |
| 1．2 精密定位平台的种类 | 第13-16页 |
| 1．2．1 直线电机驱动的定位平台 | 第13-14页 |
| 1．2．2 摩擦驱动式工作台 | 第14-15页 |
| 1．2．3 MEMS工作台 | 第15页 |
| 1．2．4 各类平台的特点 | 第15-16页 |
| 1．3 直线电机驱动的磁悬浮平台的优点 | 第16-17页 |
| 1．3．1 直线驱动的优点 | 第16-17页 |
| 1．3．2 悬浮驱动的优点 | 第17页 |
| 1．4 课题研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 1．4．1 理论基础 | 第17-18页 |
| 1．4．2 研究方法 | 第18-19页 |
| 2 磁悬浮定位平台的结构和原理 | 第19-24页 |
| 2．1 磁悬浮定位平台的驱动原理 | 第19-21页 |
| 2．1．1 磁悬浮的原理 | 第19-20页 |
| 2．1．2 线性驱动的原理 | 第20-21页 |
| 2．2 磁悬浮定位平台的结构 | 第21-24页 |
| 2．2．1 6DOF磁悬浮平台实验装置的结构 | 第21-22页 |
| 2．2．2 动子式结构和动铁式结构 | 第22-24页 |
| 3 磁悬浮平台的水平推力控制 | 第24-38页 |
| 3．1 水平运动的模型及逆系统简介 | 第24-31页 |
| 3．1．1 水平运动系统的数学模型 | 第24-27页 |
| 3．1．2 逆系统原理简介 | 第27-30页 |
| 3．1．3 逆系统状态反馈的求解 | 第30-31页 |
| 3．2 干扰观测器 | 第31-36页 |
| 3．2．1 干扰观测器的简介 | 第31-34页 |
| 3．2．2 干扰观测器的设计 | 第34-36页 |
| 3．3 水平推力控制器 | 第36-38页 |
| 3．3．1 水平推力的控制器框图 | 第36页 |
| 3．3．2 调节器设计 | 第36-38页 |
| 4 磁悬浮平台的悬浮控制 | 第38-54页 |
| 4．1 悬浮运动的数学模型及H_∞控制的简介 | 第38-49页 |
| 4．1．1 悬浮系统的数学模型 | 第38-40页 |
| 4．1．2 H_∞控制的简介 | 第40-49页 |
| 4．2 输入解耦及状态反馈控制规律 | 第49-54页 |
| 4．2．1 输入解耦的设计 | 第49页 |
| 4．2．2 状态反馈控制规律的求解 | 第49-52页 |
| 4．2．3 悬浮控制器的框图 | 第52-54页 |
| 5 计算机仿真 | 第54-60页 |
| 5．1 水平运动的仿真 | 第54-58页 |
| 5．1．I X方向的仿真结果 | 第54-55页 |
| 5．1．2 Y方向的仿真结果 | 第55-58页 |
| 5．2 悬浮运动的仿真 | 第58-60页 |
| 5．2．1 采用 PID控制方案和带有输入解耦的H_∞控制方案的仿真结果 | 第58-59页 |
| 5．2．2 两种控制方案的仿真结果分析 | 第59-60页 |
| 6 非线性 PID控制器 | 第60-72页 |
| 6．1 经典 PID调节器结构的分析 | 第60-61页 |
| 6．2 非线性状态误差反馈律——NLSEF | 第61-66页 |
| 6．2．1 一阶对象的“NLSEF”结构 | 第63-64页 |
| 6．2．2 二阶对象的“NLSEF”结构 | 第64-65页 |
| 6．2．3 三阶对象的“NLSEF”结构 | 第65-66页 |
| 6．3 二阶对象的NLSEF的离散化及其参数整定 | 第66-68页 |
| 6．4 采用非线性PID控制器控制悬浮运动的仿真实验 | 第68-72页 |
| 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 在学研究成果 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |