| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-6页 |
| 第1章 绪论 | 第6-12页 |
| ·微机电系统(MEMS)的集成设计技术 | 第6-8页 |
| ·MEMS宏建模研究及现状 | 第8-10页 |
| ·论文的研究意义 | 第10-11页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第11-12页 |
| 第2章 基于线性模态叠加的MEMS器件宏建模 | 第12-31页 |
| ·基于模态叠加的宏建模方法 | 第12-18页 |
| ·模态叠加理论 | 第13-14页 |
| ·描述保守能量域耦合系统的Lagrange方程 | 第14-18页 |
| ·微镜的宏模型 | 第18-29页 |
| ·微镜原型 | 第18页 |
| ·宏模型的获取 | 第18-22页 |
| ·微镜宏模型的时域分析 | 第22-28页 |
| ·微镜宏模型的频域分析 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 基于Arnoldi算法的弱非线性MEMS器件宏建模 | 第31-45页 |
| ·基于Arnoldi算法的宏建模方法 | 第31-38页 |
| ·系统的状态方程数学模型 | 第31-33页 |
| ·线性系统的Arnoldi算法 | 第33-36页 |
| ·弱非线性系统的Taylor展开和Arnoldi算法 | 第36-38页 |
| ·微梁的宏模型 | 第38-44页 |
| ·微梁原型 | 第38-39页 |
| ·原始系统状态方程的建立 | 第39-41页 |
| ·微梁宏模型的获取 | 第41-42页 |
| ·宏模型的结果分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 基于KL分解的非线性MEMS器件宏建模 | 第45-60页 |
| ·基于KL分解的宏建模方法 | 第45-52页 |
| ·Karhunen-Loeve分解 | 第46-52页 |
| ·Galerkin方法 | 第52页 |
| ·微型压力传感器的宏模型 | 第52-59页 |
| ·微型压力传感器原型 | 第52-54页 |
| ·基于KL分解的宏建模 | 第54-57页 |
| ·宏模型的结果分析 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·总结 | 第60-61页 |
| ·展望 | 第61-62页 |
| 发表论文及科研情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |