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基于MEMS技术的微自适应光学系统的建模及关键技术研究

摘要第1-3页
Abstract第3-4页
目录第4-6页
第一章.绪论第6-13页
     ·自适应光学技术与系统第6-10页
       ·自适应光学技术的发展第6-8页
       ·自适应光学系统的组成与应用第8-10页
     ·微型自适应光学系统及其国内外研究发展现状第10-12页
     ·本文研究目的与研究内容第12-13页
第二章.自适应光学波前扰动理论第13-29页
     ·大气湍流统计理论第13-19页
       ·柯尔莫哥洛夫(Kolmogorov)湍流理论第14-19页
       ·其它湍流理论第19页
     ·光波在湍流大气中的传播理论第19-24页
       ·光波在单层湍流大气中的传播理论第19-21页
       ·光波在多层湍流大气中的传播理论第21-24页
     ·湍流对光学系统成像的影响——赛德尔(Seidel)像差第24-27页
       ·球差(Sherical Aberration)第24-25页
       ·彗差(Coma)第25页
       ·像散与场曲(Astigmatism and field curvature)第25-27页
       ·畸变(Distortion)第27页
     ·自适应光学系统的评价指标第27-28页
     ·本章小结第28-29页
第三章.微自适应光学系统的建模与仿真第29-67页
     ·光波波前传感技术第29-39页
       ·剪切干涉波前传感技术第29-32页
       ·曲率波前传感技术第32-35页
       ·哈特曼——夏克(Shack-Hartmann)波前传感技术第35-38页
       ·几种波前传感技术的比较第38-39页
     ·波前重构理论第39-45页
       ·区域法波前重构理论第39-42页
       ·模式法波前重构理论第42-44页
       ·两种波前重构理论的比较第44-45页
     ·微自适应光学系统波前重构建模与仿真第45-61页
       ·Zemike多项式的产生第45-48页
       ·大气湍流随机波前的产生第48-52页
       ·波前传感及波前重构算法仿真与分析第52-61页
     ·微变形镜波前校正仿真第61-66页
     ·本章小结第66-67页
第四章.基于MEMS技术的微变形镜的分析与设计第67-91页
     ·变形镜的性能指标及其分类与比较第67-70页
       ·传统变形镜第68-69页
       ·基于MEMS技术的微变形镜第69-70页
     ·增大分立式微变形镜有效冲程的方法研究第70-81页
       ·Snap—down现象及其影响第71-72页
       ·折变弹性梁的设计与分析第72-77页
       ·复合弹性梁的设计与分析第77-81页
     ·分立式微变形镜的工艺与版图设计第81-90页
       ·微变形镜的加工工艺第81-83页
       ·分立式微变形镜的工艺设计第83-85页
       ·分立式微变形镜的版图设计第85-90页
     ·本章小结第90-91页
总结与展望第91-94页
参考文献第94-98页
研究生期间发表的论文:第98页
参加科研项目情况:第98-99页
致谢第99-100页

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