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多自由度微定位工作台压电陶瓷控制方法研究
正交衍射光栅计量原理及在超精密工作台上的应用
MEMS器件倒装芯片封装中的柔性化凸点制备技术及其应用
MEMS封装中的倒装芯片凸点技术
MEMS-DMs（微机电系统变形反射镜）中的有限元分析
MEMS三维动态测试系统中数据处理技术的研究与实现
基于MEMS的低成本MIMU的应用研究
电容式微惯性器件设计理论与方法研究
基于MEMS的声表面波器件设计与制作的关键技术研究
微机电台阶测量仪系统设计与研究
z轴硅微陀螺仪残余应力分析及结构优化研究
MEMS及纳米接触研究
微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化
MEMS工艺版图三维重构技术研究
音叉电容式微机械陀螺接口电路设计研究
微电子机械系统材料力学性能测试方法的研究
微结构观测镜光学结构研究与设计
利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究MEMS离面运动
MEMS器件的计算机辅助设计与模拟方法研究
稀土超磁致伸缩微位移驱动系统研究
空间用精密微位移平台的研究
微型机电系统端点特性建模技术研究
基于PZT微定位系统控制研究
超磁致伸缩致动器的磁滞非线性动态模型与控制技术
微光机电器件及其关键技术研究
环矩形负压吸附导轨的设计计算与应用
微管道散热器的制造及应用技术研究
特种金属波纹管研制
波纹管管坯高效加工技术的研究
MEMS工艺集成化设计及其可视化
基于MEMS的微致动器阵列用于三角翼气动控制技术研究
微制造平台振动主动控制研究
稀土超磁致伸缩致动器的设计及实验研究
微制造隔振平台的控制系统设计
超精密微位移系统研究
磁微致动器的多能量域建模及数值模拟研究
表面弹性波马达的研究与设计
多自由度压电式微位移机电系统的研究
空间分布压电驱动的多自由度微定位工作台位姿控制模型与实验研究
磁场与位移感知型超磁致伸缩微位移执行器及其相关技术研究
三维微操作运动及定位控制的研究
基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法及关键技术研究
MEMS的集成设计平台建模及其系统级设计技术
微型飞行器中的若干动力学问题研究
Tb-Dy-Fe单晶的磁致伸缩效应及其在微位移致动器中的应用研究
基于MEMS的微机械射频开关的研究和设计
微夹持理论与系统的研究
微机械压电微电机原型机的研究
超磁致伸缩执行器及其控制技术研究
基于变比模型的压电驱动微位移工作台控制方法研究
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