MEMS微变形镜的系统级建模研究
| 第一章 绪论 | 第1-13页 |
| 1．1 自适应光学系统与MEMS微变形镜 | 第9-11页 |
| 1．2 MEMS系统级设计 | 第11-12页 |
| 1．3 课题来源及本文研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 微变形镜机电行为建模 | 第13-43页 |
| 2．1 微变形镜功能组件分解 | 第13-14页 |
| 2．2 多端口组件网络方法 | 第14-17页 |
| 2．2．1 多端口组件模型的一般形式 | 第14-16页 |
| 2．2．2 多端口组件网络 | 第16页 |
| 2．2．3 基于硬件描述语言的编码技术 | 第16-17页 |
| 2．3 弹性梁的行为模型 | 第17-32页 |
| 2．3．1 弹性梁的力学行为模型 | 第17-31页 |
| 2．3．2 弹性梁的多端口组件模型 | 第31页 |
| 2．3．3 模型精确性比较 | 第31-32页 |
| 2．4 平板质量块的行为模型 | 第32-36页 |
| 2．4．1 平板质量块的力学行为模型 | 第32-35页 |
| 2．4．2 平板质量块的多端口组件模型 | 第35页 |
| 2．4．3 模型精确性比较 | 第35-36页 |
| 2．5 平板式可变电容器的行为模型 | 第36-42页 |
| 2．5．1 平板式可变电容器的机电祸合行为模型 | 第36-39页 |
| 2．5．2 平板式电容器多端口组件模型 | 第39-40页 |
| 2．5．3 模型精确性比较 | 第40-42页 |
| 2．6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 微变形镜光学行为建模 | 第43-65页 |
| 3．1 光学行为建模理论 | 第43-48页 |
| 3．1．1 近轴矩阵光学 | 第44-46页 |
| 3．1．2 高斯光束的基本性质 | 第46-47页 |
| 3．1．3 高斯光束的复参数表示和ABCD定律 | 第47-48页 |
| 3．2 光学元件的光学建模 | 第48-60页 |
| 3．2．1 光信号的描述 | 第48-49页 |
| 3．2．2 反射镜和薄透镜的光学模型 | 第49-56页 |
| 3．2．3 光学元件的多端口组件模型 | 第56-58页 |
| 3．2．4 平面反射镜的光学仿真 | 第58-60页 |
| 3．3 微变形镜阵列的光学性能评价 | 第60-64页 |
| 3．3．1 斯特列尔比 | 第60-61页 |
| 3．3．2 适配误差 | 第61-62页 |
| 3．3．3 阵列光学性能评价多端口组件模型 | 第62页 |
| 3．3．4 阵列光学性能评价分析 | 第62-64页 |
| 3．4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第四章 微变形镜系统级建模与仿真 | 第65-88页 |
| 4．1 微变形镜机电行为建模及仿真 | 第65-70页 |
| 4．1．1 系统级模型 | 第65-67页 |
| 4．1．2 谐振频率分析与模型精确性比较 | 第67-68页 |
| 4．1．3 响应时间分析 | 第68-69页 |
| 4．1．4 吸合电压分析 | 第69-70页 |
| 4．2 微变形镜光相位调制行为建模及仿真 | 第70-87页 |
| 4．2．1 微变形镜单元的建模及仿真 | 第70-72页 |
| 4．2．1．1 系统级模型 | 第70-71页 |
| 4．2．1．2 光相位调制分析 | 第71-72页 |
| 4．2．2 微变形镜阵列建模及仿真 | 第72-87页 |
| 4．2．2．1 64单元阵列系统级模型 | 第73页 |
| 4．2．2．2 阵列输入 | 第73-76页 |
| 4．2．2．3 阵列的理想位移 | 第76-77页 |
| 4．2．2．4 阵列的理想驱动电压 | 第77-79页 |
| 4．2．2．5 阵列的实际驱动电压 | 第79-81页 |
| 4．2．2．6 阵列的实际位移 | 第81-82页 |
| 4．2．2．7 阵列输出光束的相位 | 第82-84页 |
| 4．2．2．8 调制后的输出波前 | 第84-85页 |
| 4．2．2．9 输出波前与平面波前的相对误差 | 第85-87页 |
| 4．3 本章小结 | 第87-88页 |
| 第五章 总结与展望 | 第88-90页 |
| 5．1 总结 | 第88-89页 |
| 5．2 展望 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-95页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第95页 |
| 参加科研项目情况 | 第95-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
