| 第1章 概述 | 第1-17页 |
| ·研究背景 | 第12-13页 |
| ·研究概况 | 第13-16页 |
| ·本论文的研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 微／纳米机械粘附的机理 | 第17-52页 |
| ·概述 | 第17-18页 |
| ·表面张力作用下产生粘附的物理机制 | 第18-21页 |
| ·静电力场作用下产生粘附的物理机制 | 第21-22页 |
| ·构件残余应力的影响 | 第22-24页 |
| ·Van der Waals力作用下的粘附问题 | 第24-25页 |
| ·量子力—Casimir力作用下的粘附和稳定性问题 | 第25-38页 |
| ·修正前的两平板间的Casimir力 | 第28页 |
| ·修正后的两平板间的Casimir力 | 第28-30页 |
| ·多晶硅薄膜微腔结构在Casimir力作用下的粘附和稳定性问题 | 第30-38页 |
| ·变形方程 | 第30-32页 |
| ·无量纲平衡常数K | 第32-38页 |
| ·真空中理想光滑导电平板表面(SDM模型) | 第32-33页 |
| ·实际粗糙的多晶硅平板表面 | 第33-38页 |
| ·建立在分形理论基础上的各种表面力的粘附机理 | 第38-41页 |
| ·表面张力对粘附的影响 | 第39-40页 |
| ·范德华力对粘附的影响 | 第40页 |
| ·静电力对粘附的影响 | 第40-41页 |
| ·粘附的尺寸效应 | 第41-42页 |
| ·粘附的时间效应 | 第42页 |
| ·考虑表面效应和尺寸效应的抗粘附结构参数设计 | 第42-50页 |
| ·表面张力作用下稳定的抗粘附多晶硅微悬臂梁结构参数设计 | 第43-48页 |
| ·Casimir力作用下稳定的抗粘附多晶硅薄膜微腔结构尺寸参数设计 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第3章 表面分子自组装膜的抗粘附性能研究 | 第52-58页 |
| ·现有的抗粘附方法 | 第52-53页 |
| ·施加表面分子自组装膜后的抗粘附特性 | 第53-54页 |
| ·全氟癸基羟基硅烷(FDTS)自组装膜的减摩性能 | 第54页 |
| ·湿度对FDTS自组装膜摩擦性能的影响 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 结论及展望 | 第58-60页 |
| ·主要研究结论 | 第58-59页 |
| ·深入研究展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
