计量型微位移精密工作台的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·本文研究的目的和意义 | 第9页 |
| ·表面计量技术的发展 | 第9-13页 |
| ·显微干涉测量仪的发展 | 第13-16页 |
| ·本文的主要工作 | 第16页 |
| ·课题来源 | 第16-17页 |
| 2 结构设计 | 第17-22页 |
| ·垂直扫描白光干涉三维形貌测量仪的设计方案 | 第17-18页 |
| ·计量型微位移精密工作台的结构 | 第18-19页 |
| ·测量和工作原理 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 光学系统设计 | 第22-31页 |
| ·激光干涉基本原理 | 第22-23页 |
| ·衍射光栅基本原理 | 第23-25页 |
| ·工作台光栅干涉计量系统 | 第25-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 4 电路设计 | 第31-41页 |
| ·电路总体功能 | 第31页 |
| ·光电转换与前置放大电路 | 第31-33页 |
| ·干涉条纹的辨向与细分电路 | 第33-38页 |
| ·压电陶瓷驱动电路 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 5 光电接收方法的研究 | 第41-50页 |
| ·面积积分分析法 | 第41-45页 |
| ·光电管阵列的传统放置方法 | 第45-46页 |
| ·光电管阵列的新型放置方法 | 第46-48页 |
| ·光电管阵列新型放置方法的适用范围 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 6 误差分析与修正方法 | 第50-55页 |
| ·光栅计量误差分析 | 第50-53页 |
| ·光电信号的修正方法 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 7 虚拟仪器技术的应用与测量实验 | 第55-60页 |
| ·虚拟仪器技术简介 | 第55页 |
| ·用户程序设计 | 第55-56页 |
| ·垂直扫描白光干涉测量实验 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 8 总结与展望 | 第60-61页 |
| ·全文总结 | 第60页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第65-66页 |
| 附录2 电路实物图 | 第66-69页 |
| 附录3 电路原理图 | 第69-72页 |
