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结构
柔性机构拓扑优化方法及其在微机电系统中的应用
压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究
面向仿生微纳导航系统的天空偏振光研究
面向仿生微纳导航系统的偏振器研究
高g值条件下MEMS微构件动态特性测试装置的研制
基于底座激励的微器件动态特性测试系统
微电铸器件均匀性的研究
基于空分复用的自感知压电夹钳的研究
基于重复控制的数控试验平台伺服调节技术研究
多功能微流控芯片测试与控制系统的设计与构建
微注塑成型充模理论模型与数值模拟
微气体传感器SnO2敏感膜表面电子结构及气体吸附的研究
微注塑成型工艺的模拟分析与试验研究
甲醛气敏元件研制及灵敏度特性研究
自感知二维微动工作台及其控制方法的研究
基于β辐射伏特效应的同位素微电池理论模型研究
超磁致伸缩致动器参数设计及其特性研究
微结构的静电驱动特性研究
差分式硅微机械陀螺的结构设计及闭环驱动研究
单芯片集成加速度计陀螺仪设计研究
微机械中静电梳齿结构的静动力学研究
微电子机械系统力学性能及尺寸效应研究
基于阵列技术的MEMS虚拟陀螺技术研究
面向主动流动控制的微致动器阵列与仿真分析
MEMS工艺集成化设计与仿真技术研究
基于MEMS微致动器的碟翼流动控制研究
MEMS微型可编程光栅技术研究
MEMS微变形镜设计及其薄膜残余应力控制研究
超塑性微挤压成形系统与测控技术基础研究
Z轴微机械陀螺的集成设计技术
一种摩擦轮驱动微位移工作平台的研究
压电陶瓷驱动的微位移工作台建模与控制技术研究
横向梳状硅微静电谐振器机械性能分析与实验研究
V型电热硅微致动器性能及其应用研究
冷热源微小型热电电源的研究
量子线束缚态问题模拟计算研究
基于Robust控制的纳米级热驱动部件系统研究
基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统关键技术研究
微电子机械系统降阶建模方法研究
基于LMI的纳米级热驱动部件鲁棒H_∞控制研究
微管道流动中壁面粗糙度的影响机理
可用于大口径精密表面缺陷检测的数字化评价系统研究
微悬臂梁品质因数Q控制技术的研究
微结构振动特性的自由衰减测试方法
NEMS测试中若干关键技术的研究
基于光流技术的MEMS平面微运动特性的测量
基于Preisach磁滞模型的超磁致伸缩致动器的控制技术研究
提高并行共焦探测精度的方法研究
MIMU及其与GPS组合系统设计与实验研究
基于电气制导与误差修正的几何量计量新方法及新型栅式智能位移传感器研究
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