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结构
柔性电热微夹钳的关键技术研究
叠堆驱动二维惯性压电驱动机构研究
SU-8光刻胶超声时效的实验研究
喷油器试验台的开发
气体挤压膜悬浮平台的性能分析
量子效应对微纳机械系统稳定性的影响
微型车盘式制动器粘—滑振动的研究
具有360度回转功能的六自由度运动平台的优化设计
微机械陀螺仪锁定检测技术的研究
微纳深沟槽结构光学反射特性与参数提取算法研究
MEMS技术的磁流体陀螺仪关键技术的研究
精密工件台运动参数校准方法研究
基于表面张力作用的MEMS自组装及其精度控制技术研究
超磁致伸缩精密位移驱动器的热分析与控制
阀用电磁铁动静态性能自动测试平台的研制
新型变频交流节能试验台控制系统的研究
新型三自由度惯性压电驱动器研究
基于V型导轨压电叠堆惯性驱动器的研究
非对称结构惯性压电旋转驱动器的研究
双轴速率转台
MEMS光开关的建模与仿真
分布式网络化测试系统中的同步触发技术研究
基于无线数据传输的力学实验台测试系统研究
液压支架试验台升降同步控制系统的研究
六自由度纳米工作台驱动控制方法及系统研究
压电微步进旋转驱动器的研究
电场活化聚合物（DE）平面弯曲致动器设计
微型化低纹波压电陶瓷驱动电源的研制
基于三角放大原理的压电型精密定位机构研究
微构件力学特性的多尺度仿真及实验研究
基于动态测试的精密弹性元件刚度测量方法研究
基于USB通信技术的微机虚拟信号发生器
高温环境下MEMS微构件动态特性测试技术研究
微流控芯片中电渗流输运特性研究
超磁致压电混合精密驱动机构及其控制技术研究
压电泵/电流变阀液压精密步进驱动技术的研究
精密微位移调整系统的设计与研究
扫掠力检测实验台信号采集系统设计及集成研究
低雷诺数下被动微混合器性能的数值模拟研究
模拟加载试验系统的性能研究
工作台微定位特性分析及误差补偿研究
真三轴仪测控系统及实验设备远程共享研究
指针式仪表自动检定装置的研究
预应力锚索锚具试验台研究
压电工作台微定位系统建模与控制技术
微梁力学性能尺寸效应的研究
单振子双腔并联无阀压电微泵的性能分析及仿真模拟
弹性环式挤压油膜阻尼器动力特性研究
圆光栅回转式压电微角度执行器的研究
透明介质下微结构表面形貌的Linnik显微干涉测量技术
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