基于XML的MEMS加工工艺数据库设计与实现
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-12页 |
| 1．1 微机电系统的研究现状与发展趋势 | 第6-8页 |
| 1．2 MEMS加工工艺数据库的国内外研究现状 | 第8-10页 |
| 1．3 论文研究的目的与意义 | 第10-11页 |
| 1．4 论文的研究内容 | 第11-12页 |
| 第二章 MEMS加工方法分类及分析 | 第12-25页 |
| 2．1 MEMS加工方法的特点 | 第12-13页 |
| 2．2 MEMS加工方法分类 | 第13-22页 |
| 2．2．1 光刻 | 第13-14页 |
| 2．2．2 薄膜沉积 | 第14-17页 |
| 2．2．3 掺杂 | 第17-18页 |
| 2．2．4 键合 | 第18页 |
| 2．2．5 体加工方法 | 第18-21页 |
| 2．2．6 表面微细加工方法 | 第21-22页 |
| 2．3 MEMS标准工艺 | 第22-24页 |
| 2．3．1 溶片工艺 | 第22-23页 |
| 2．3．2 MUMPS工艺 | 第23-24页 |
| 2．4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 基于XML的MEMS工艺信息建模 | 第25-44页 |
| 3．1 XML技术概述 | 第25-31页 |
| 3．1．1 XML文档结构 | 第27-29页 |
| 3．1．2 XML相关技术 | 第29-31页 |
| 3．2 基于XML的数据模型 | 第31-40页 |
| 3．2．1 简单的XML数据模型 | 第32-35页 |
| 3．2．2 面向W3C规范的XML数据模型 | 第35-36页 |
| 3．2．3 以节点为中心的XML数据模型 | 第36-38页 |
| 3．2．4 以边为中心的XML数据模型 | 第38-39页 |
| 3．2．5 通用XML数据模型 | 第39-40页 |
| 3．3 基于XML的工艺信息描述 | 第40-43页 |
| 3．3．1 元素与属性的权衡 | 第41-42页 |
| 3．3．2 描述对象的权衡 | 第42-43页 |
| 3．4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 基于XML的MEMS工艺数据库设计 | 第44-60页 |
| 4．1 XML数据库概述 | 第44-46页 |
| 4．1．1 XML数据库定义 | 第44页 |
| 4．1．2 XML数据库分类 | 第44-45页 |
| 4．1．3 XML数据库的三层结构 | 第45-46页 |
| 4．2 基于XML的MEMS工艺数据库的系统结构 | 第46-47页 |
| 4．3 MEMS工艺数据库设计 | 第47-58页 |
| 4．3．1 概念设计 | 第48-51页 |
| 4．3．2 逻辑设计 | 第51-57页 |
| 4．3．3 物理设计 | 第57-58页 |
| 4．4 基于XML的工艺信息数据存储 | 第58-59页 |
| 4．5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 基于XML的MEMS工艺数据库的实现 | 第60-71页 |
| 5．1 数据库接口 | 第60-63页 |
| 5．1．1 数据库接口概述 | 第60-61页 |
| 5．1．2 DOM接口 | 第61-63页 |
| 5．2 数据的访问、操作和查询 | 第63-66页 |
| 5．2．1 数据访问和操作 | 第63-65页 |
| 5．2．2 数据查询 | 第65-66页 |
| 5．3 用户界面设计 | 第66-68页 |
| 5．4 数据库系统的典型应用 | 第68-70页 |
| 5．5 本章小结 | 第70-71页 |
| 结束语 | 第71-73页 |
| 总结 | 第71页 |
| 展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 研究生期间发表的论文及参加科研情况 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
