| 第一章 绪论 | 第1-16页 |
| ·研究意义 | 第12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 压电陶瓷驱动器原理及特性 | 第16-24页 |
| ·压电陶瓷驱动器基本结构 | 第16-17页 |
| ·压电陶瓷驱动器基本特性 | 第17-21页 |
| ·迟滞特性 | 第18页 |
| ·蠕变特性 | 第18-19页 |
| ·非线性特性 | 第19-20页 |
| ·其他影响定位精度的误差因素 | 第20-21页 |
| ·压电陶瓷微位移产生迟滞特性的微观机理 | 第21-24页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动器抗迟滞驱动方法 | 第24-37页 |
| ·压电陶瓷驱动器抗迟滞驱动方法的提出 | 第24页 |
| ·压电陶瓷驱动器抗迟滞驱动方法实验装置设计 | 第24-27页 |
| ·压电陶瓷驱动器电源 | 第25-26页 |
| ·位移检测传感器和数据采集部分 | 第26-27页 |
| ·压电陶瓷驱动器夹紧装置 | 第27页 |
| ·压电陶瓷驱动器控制软件的编写 | 第27-31页 |
| ·实验结果及分析 | 第31-35页 |
| ·抗迟滞驱动方式与传统驱动方法的特性比较 | 第31-33页 |
| ·不同压电陶瓷驱动器之间的特性差异 | 第33-34页 |
| ·对压电陶瓷驱动器进行重新装夹之后对特性的影响 | 第34页 |
| ·压电陶瓷驱动器位移分辨率的测定 | 第34-35页 |
| ·压电陶瓷驱动器控制模型的建立 | 第35-37页 |
| 第四章 压电陶瓷驱动器其他特性标定实验 | 第37-44页 |
| ·压电陶瓷驱动器位移重复性精度实验 | 第37-39页 |
| ·压电陶瓷驱动器特性与载荷相关性实验 | 第39-40页 |
| ·压电陶瓷驱动器蠕变特性实验 | 第40-41页 |
| ·压电陶瓷驱动器动态特性实验 | 第41-44页 |
| 第五章 用于压电陶瓷驱动器闭环控制的多功能电容传感器的设计 | 第44-54页 |
| ·研究多功能电容传感器的目的与意义 | 第44-45页 |
| ·多功能电容传感器的设计原理 | 第45-48页 |
| ·各种类型电容传感器的测量原理 | 第45-46页 |
| ·多功能电容传感器结构设计 | 第46-48页 |
| ·设计中对电容传感器应用中存在问题的考虑 | 第48页 |
| ·信号采集与调理电路设计 | 第48-54页 |
| ·信号调理电路设计 | 第50-54页 |
| ·方波振荡电路 | 第50-52页 |
| ·二极管环形检波电路 | 第52页 |
| ·放大电路及滤波电路 | 第52-54页 |
| 第六章 结论与展望 | 第54-56页 |
| ·课题总结 | 第54页 |
| ·课题展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 附录 | 第58-82页 |