| 中文摘要 | 第1-7页 |
| 英文摘要 | 第7-9页 |
| 致谢 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| ·超精密加工的发展及其重要地位 | 第12-16页 |
| ·课题的提出和本论文的安排 | 第16-19页 |
| 第二章 基于热变形的纳米级进给系统分析与设计 | 第19-35页 |
| ·基于热变形驱动方案的理论基础 | 第19-20页 |
| ·热变形驱动方案的仿真与分析 | 第20-27页 |
| ·双边对称驱动的纳米级驱动部件响应特性分析 | 第21-27页 |
| ·单输入36输出控制模型的建立 | 第21-23页 |
| ·关键参数变化对响应特性的影响 | 第23-27页 |
| ·关键参数变化对响应特性的影响结论 | 第27页 |
| ·纳米级进给系统的总体结构 | 第27-33页 |
| ·硬件电路的设计 | 第27-29页 |
| ·基于PC机和单片机的硬件设计方案 | 第29页 |
| ·基于ARM的纳米级进给系统硬件设计方案 | 第29-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 驱动部件数学模型的建立及控制算法研究 | 第35-56页 |
| ·热传导偏微分方程的简化 | 第35-36页 |
| ·数学模型参数的确定 | 第36-39页 |
| ·模型参数的实验确定 | 第36-39页 |
| ·滞后现象的研究 | 第39页 |
| ·广义数学模型的建立 | 第39-44页 |
| ·系统能观性分析及状态观测器的建立 | 第40-41页 |
| ·系统的能控性和极点的任意配置 | 第41-43页 |
| ·非线性补偿器 | 第43页 |
| ·广义数学模型的构成 | 第43-44页 |
| ·多模态控制策略的研究 | 第44-50页 |
| ·改进型滑模变结构控制策略 | 第44-45页 |
| ·模态1中控制参数的确定 | 第45页 |
| ·模态2中控制参数的确定 | 第45-47页 |
| ·多种控制策略的实验与研究 | 第47-50页 |
| ·多模态控制策略的平稳过渡及其应用 | 第50-54页 |
| ·多模态过渡的问题提出 | 第50-52页 |
| ·多模态控制策略的平稳过渡 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 基于热变形纳米级进给系统的软件实现 | 第56-67页 |
| ·控制系统的功能介绍及开发语言的选择 | 第56-57页 |
| ·通讯协议 | 第57-59页 |
| ·RS232串口通讯 | 第57-58页 |
| ·位移传感器通讯协议 | 第58-59页 |
| ·系统软件实现 | 第59-66页 |
| ·下位机的软件实现 | 第59-63页 |
| ·上位机的软件实现 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 实验与控制精度分析 | 第67-97页 |
| ·恒压驱动的热平衡实验及其拟合曲线分析 | 第67-73页 |
| ·恒功率驱动的热平衡实验及其拟合曲线分析 | 第73-85页 |
| ·不同变形体材料恒压驱动热平衡实验及其拟合曲线分析 | 第85-95页 |
| ·控制精度试验数据 | 第95-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 第六章 结论与展望 | 第97-100页 |
| 参考文献 | 第100-106页 |
| 攻读硕士学位期间完成的科研论文 | 第106-112页 |