基于MEMS技术新型压电微驱动器的研制
| 第1章 概论 | 第1-42页 |
| 1．1 概论 | 第13-17页 |
| 1．1．1 MEMS简介 | 第13-15页 |
| 1．1．2 MEMS的应用领域 | 第15-17页 |
| 1．2 微机械加工技术 | 第17-20页 |
| 1．2．1 体硅微机械加工技术 | 第17-18页 |
| 1．2．2 表面微机械加工技术 | 第18-19页 |
| 1．2．3 键合技术 | 第19-20页 |
| 1．2．4 光刻电铸模造技术 | 第20页 |
| 1．3 微流量系统与微泵 | 第20-37页 |
| 1．3．1 微流量传感器 | 第21-23页 |
| 1．3．2 微型阀 | 第23-26页 |
| 1．3．3 微泵 | 第26页 |
| 1．3．4 微泵的分类 | 第26-27页 |
| 1．3．5 有阀型微泵 | 第27-32页 |
| 1．3．6 有阀型微泵 | 第32-37页 |
| 1．4 微泵的国内外发展现状 | 第37-40页 |
| 1．4．1 国外的发展现状 | 第37-38页 |
| 1．4．2 国内的发展现状 | 第38页 |
| 1．4．3 微驱动器的发展趋势及待解决问题 | 第38-40页 |
| 1．5 课题的研究的目的、意义及主要研究内容 | 第40-42页 |
| 1．5．1 课题研究目的 | 第40-41页 |
| 1．5．2 课题研究工作的主要内容 | 第41-42页 |
| 第2章 微驱动器的理论分析 | 第42-61页 |
| 2．1 PZT驱动的微驱动器基本结构 | 第42-44页 |
| 2．2 PZT复合薄板的驱动理论 | 第44-52页 |
| 2．2．1 压电性和压电方程 | 第44-46页 |
| 2．2．2 方形复合薄板的力学模型假设 | 第46-47页 |
| 2．2．3 方形复合薄板形变分析 | 第47-52页 |
| 2．3 流体理论分析 | 第52-60页 |
| 2．4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第3章 微驱动器的计算机模拟设计 | 第61-77页 |
| 3．1 计算机辅助设计系统 | 第61-62页 |
| 3．2 IntelliSuite结构体系 | 第62-63页 |
| 3．2．1 掩膜设计模块IntelliMask | 第62页 |
| 3．2．2 工艺设计模块IntelliFab | 第62页 |
| 3．2．3 腐蚀模块AnisE | 第62页 |
| 3．2．4 三维模块3DBuild | 第62-63页 |
| 3．2．5 材料模块MEMaterial | 第63页 |
| 3．2．6 性能分析模块 | 第63页 |
| 3．3 无阀型微泵的工艺流程模拟 | 第63-66页 |
| 3．4 微型阀结构刻蚀计算机模拟 | 第66-67页 |
| 3．5 微驱动器复合薄板的模拟分析 | 第67-70页 |
| 3．5．1 驱动电压对复合薄板形变挠度的影响 | 第68-69页 |
| 3．5．2 复合薄板厚度对形变挠度的影响 | 第69-70页 |
| 3．6 微驱动器复合薄板动态特性的分析 | 第70-72页 |
| 3．6．1 固有频率 | 第70页 |
| 3．6．2 振型分析 | 第70-72页 |
| 3．7 无阀型微驱动器微流体特性的分析 | 第72-76页 |
| 3．7．1 角度和Re对扩散管效率的影响 | 第72-74页 |
| 3．7．2 长度对扩散管效率的影响 | 第74-76页 |
| 3．8 本章小结 | 第76-77页 |
| 第4章 微驱动器的工艺制备方法及分析 | 第77-98页 |
| 4．1 微驱动器关键制备工艺 | 第77-86页 |
| 4．1．1 薄膜的制备 | 第77-79页 |
| 4．1．2 光刻与制版 | 第79-82页 |
| 4．1．3 双面光刻 | 第82-83页 |
| 4．1．4 刻蚀工艺 | 第83-85页 |
| 4．1．5 反应离子刻蚀 | 第85-86页 |
| 4．1．6 界面层辅助键合 | 第86页 |
| 4．2 微驱动器的制备 | 第86-88页 |
| 4．3 KOH刻蚀结果研究 | 第88-89页 |
| 4．3．1 腐蚀速率与腐蚀溶液浓度的关系 | 第88-89页 |
| 4．3．2 腐蚀速率与温度的关系 | 第89页 |
| 4．4 复合PZT薄膜的制备 | 第89-95页 |
| 4．4．1 底电极和过渡层的选择 | 第90-91页 |
| 4．4．2 PZT溶胶的制备 | 第91-92页 |
| 4．4．3 PZT薄膜制备 | 第92-93页 |
| 4．4．4 成膜工艺的改进 | 第93-95页 |
| 4．5 复合PZT薄膜的结构表征 | 第95-97页 |
| 4．5．1 复合PZT薄膜表面形貌 | 第95-96页 |
| 4．5．2 复合PZT薄膜XRD分析 | 第96-97页 |
| 4．6 本章小结 | 第97-98页 |
| 第5章 微驱动器的特性分析 | 第98-104页 |
| 5．1 微驱动器的组装 | 第98-100页 |
| 5．1．1 微驱动薄膜的极化 | 第98页 |
| 5．1．2 极化电场与压电性之间的关系 | 第98-99页 |
| 5．1．3 微驱动器的组装 | 第99-100页 |
| 5．2 微驱动器的性能测试 | 第100-103页 |
| 5．2．1 压电振子的变形测试 | 第100-101页 |
| 5．2．2 流量测试装置 | 第101-102页 |
| 5．2．3 输出流量与频率的关系 | 第102-103页 |
| 5．2．4 测试微驱动器背压 | 第103页 |
| 5．3 本章小结 | 第103-104页 |
| 结论 | 第104-107页 |
| 参考文献 | 第107-117页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第117-119页 |
| 致谢 | 第119页 |
