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Ga2O3薄膜的电子束蒸发制备与掺杂及其性质研究
锌基光催化剂的制备、表征及其性能研究
高硬度氧化物的研磨抛光技术研究
飞秒激光制备单晶硅表面微结构研究
B2H6源掺杂溅射制备透明导电ZnO薄膜的研究
金属氧化物ZnO和In2O3的掺杂结构及其溅射靶材研究
间歇式源中断方式生长InGaAs量子点的生长工艺研究
微测辐射热计用V2O5薄膜的制备及性能研究
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高质量氢化非晶碳化硅膜及纳米硅量子点/非晶碳化硅结构的制备与光电特性
局域表面等离激元增强a-SiNx:O薄膜的发光及激光干涉晶化中光场调制的研究
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水溶液法合成稀土掺杂CdSe量子点及光学性质
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集成电路中球形缺陷问题研究和解决方法
新型研磨垫在化学机械研磨制程中的应用
氧化钒薄膜制备工艺及其相变特性研究
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Cu-Zn-Sn-S系纳米晶的溶液化学法合成及其薄膜应用
三甘醇溶液化学法Cu2-xSe纳米晶的合成研究
阵列波导器件耦合封装机理及其关键技术研究
高晶向精度的单晶硅定晶向放电切割进电特性及工艺研究
可溶性淀粉辅助生长氧化锌及其光催化性能研究
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中子辐照微氮直拉硅单晶辐照效应的研究
硅基GaN欧姆接触及紫外探测器的研究
直拉单晶硅内吸杂研究
微氮直拉硅单晶的机械性能研究
薄硅外延片的生长及高频肖特基二极管的研制
氧化锌及其复合半导体材料的制备、表征与性能研究
锑化物自组织量子点的MOCVD制备研究及热光伏器件结构模拟
4H-SiC同质外延生长及器件研究
氧化锌块状、薄膜和纳米晶体的制备及性质研究
高Co非匀质Ti1-xCoxO2铁磁性半导体的制备、结构与物性研究
氧化锡及其锑掺杂薄膜的制备、结构和光致发光性质研究
电子束光刻的Monte Carlo模拟及邻近效应校正技术研究
MgZnO薄膜的制备及特性研究
基于四苯基硅烷的宽禁带半导体材料的设计合成与光电性能研究
激光干涉光刻织构化硅表面及微摩擦性能研究
氧化物浓磁半导体和反铁磁金属的自旋极化输运研究
图像处理在单晶硅直径检测中的实际应用
退火方式对Ni/SiC欧姆接触的影响
冶金法制备太阳能级硅工艺中湿法提纯及半工业化研究
湿法刻蚀与清洗中晶圆缺陷问题的研究
连接孔干法蚀刻工艺的研究与改善
晶片表面结晶型缺陷的介绍及预防措施的探究
锰的硅化物薄膜及纳米结构在硅表面的外延生长
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