| 符号表 | 第1-9页 |
| 摘要 | 第9-12页 |
| ABSTRACT | 第12-16页 |
| 第一章 引言 | 第16-39页 |
| 第一节 概述 | 第16-17页 |
| 第二节 二氧化锡材料的应用 | 第17-18页 |
| 第三节 半导体材料的光致发光原理 | 第18-24页 |
| 一.带间的直接辐射复合跃迁过程 | 第19页 |
| 二.带间的间接辐射复合跃迁 | 第19-20页 |
| 三.自由激子复合跃迁发光 | 第20页 |
| 四.束缚激子辐射复合跃迁发光(BE) | 第20-21页 |
| 五.能带与杂质能级之间的辐射复合(FB) | 第21-22页 |
| 六.施主-受主对辐射复合过程(DAP) | 第22-24页 |
| 第四节 氧化锡材料的光致发光性质研究进展 | 第24-29页 |
| 第五节 二氧化锡材料的性质 | 第29-33页 |
| 一.二氧化锡的结构性质 | 第29-30页 |
| 二.二氧化锡的电学特性 | 第30-32页 |
| 三.二氧化锡的光学特性 | 第32-33页 |
| 第六节 选题动机 | 第33-35页 |
| 本章参考文献 | 第35-39页 |
| 第二章 氧化锡薄膜的制备及测试方法 | 第39-52页 |
| 第一节 概述 | 第39-41页 |
| 一.喷涂法(spray pyrolysis) | 第39页 |
| 二.溶胶-凝胶法(sol-gel) | 第39-40页 |
| 三.化学气相沉积法(CVD) | 第40页 |
| 四.物理气相沉积法(PVD) | 第40-41页 |
| 第二节 常压化学气相沉积法(APCVD) | 第41-42页 |
| 第三节 射频磁控溅射法 | 第42-47页 |
| 一.溅射原理 | 第42-45页 |
| 二.溅射系统 | 第45-47页 |
| 第四节 测试分析方法 | 第47-51页 |
| 一.X射线衍射(XRD)方法 | 第47页 |
| 二.X射线光电子能谱(XPS) | 第47-49页 |
| 三.薄膜表面形貌分析 | 第49-50页 |
| 四.薄膜光学性质测量 | 第50-51页 |
| 本章参考文献 | 第51-52页 |
| 第三章 APCVD方法制备氧化锡薄膜的结构及光学、电学性质 | 第52-68页 |
| 第一节 SnO_2薄膜的制备 | 第52-53页 |
| 一.衬底处理 | 第52页 |
| 二.样品制备 | 第52-53页 |
| 第二节 SnO_2薄膜的结构性质 | 第53-59页 |
| 第三节 SnO_2薄膜的电学性质 | 第59-60页 |
| 第四节 SnO_2薄膜的光学性质 | 第60-62页 |
| 第五节 SnO_2薄膜的光致发光性质 | 第62-66页 |
| 本章参考文献 | 第66-68页 |
| 第四章 锑掺杂氧化锡薄膜的制备及其结构性质 | 第68-88页 |
| 第一节 Sb掺杂SnO_2薄膜的制备 | 第68-69页 |
| 一.掺杂陶瓷靶的制备 | 第68页 |
| 二.Sb掺杂SnO_2薄膜样品的制备 | 第68-69页 |
| 第二节 SnO_2：Sb薄膜的XPS谱分析 | 第69-72页 |
| 第三节 衬底材料对SnO_2：Sb薄膜结构性质的影响 | 第72-75页 |
| 第四节 制备条件对SnO_2：Sb薄膜结构性质的影响 | 第75-81页 |
| 一.溅射功率对薄膜结构性质的影响 | 第75-78页 |
| 二.氧分压对薄膜结构性质的影响 | 第78-81页 |
| 第五节 掺杂浓度对SnO_2：Sb薄膜结构性质的影响 | 第81-83页 |
| 第六节 退火处理对SnO_2：Sb薄膜结构性质的影响 | 第83-87页 |
| 本章参考文献 | 第87-88页 |
| 第五章 锑掺杂氧化锡薄膜的光学及光致发光性质 | 第88-110页 |
| 第一节 掺杂浓度及退火处理对SnO_2：Sb薄膜光学性质的影响 | 第88-95页 |
| 一.掺杂浓度对薄膜光学性质的影响 | 第89-90页 |
| 二.退火温度对薄膜光学性质的影响 | 第90-95页 |
| 第二节 掺杂浓度及退火处理对SnO_2：Sb薄膜光致发光性质的影响 | 第95-102页 |
| 一.掺杂浓度对薄膜光致发光性质的影响 | 第95-99页 |
| 二.退火处理对薄膜光致发光性质的影响 | 第99-102页 |
| 第三节 制备条件及退火氛围对SnO_2：Sb薄膜光致发光性质的影响 | 第102-106页 |
| 一.溅射功率对SnO_2：Sb薄膜光致发光特性的影响 | 第103-104页 |
| 二.氧分压对薄膜光致发光特性的影响 | 第104-105页 |
| 三.退火氛围对薄膜光致发光特性的影响 | 第105-106页 |
| 第四节 Sb掺杂及测量温度对SnO_2薄膜光致发光特性的影响 | 第106-109页 |
| 一.Sb掺杂对SnO_2薄膜光致发光特性的影响 | 第106-108页 |
| 二.测量温度对薄膜光致发光特性的影响 | 第108-109页 |
| 本章参考文献 | 第109-110页 |
| 第六章 结论 | 第110-112页 |
| 博士期间发表论文目录 | 第112-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第116页 |
