退火方式对Ni/SiC欧姆接触的影响

摘要	第1-4页
Abstract	第4-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-15页
·SiC材料简介	第7-9页
·Ni/SiC欧姆接触制备技术研究背景	第9-13页
·激光加工技术研究背景	第13-14页
·本文的主要工作	第14-15页
第二章 样品的制备与表征方法	第15-23页
·SiC衬底的清洗	第15-16页
·Ni电极的制备	第16-18页
·样品的热处理	第18-19页
·样品的表征方法	第19-22页
·本章小结	第22-23页
第三章 快速退火法制备Ni/SiC欧姆接触	第23-33页
·沉积态Ni/SiC的性能表征	第23-25页
·RTA处理对Ni/SiC接触性能的影响	第25-32页
·I-V 曲线	第25页
·物相分析	第25-26页
·表面形貌	第26-27页
·截面形貌与元素组成	第27-29页
·Ni/SiC界面表征与分析	第29-32页
·本章小结	第32-33页
第四章 脉冲激光退火法制备Ni/SiC欧姆接触	第33-47页
·脉冲激光退火装置的研制	第33-34页
·激光的聚焦与参数设定	第34-35页
·样品对激光的吸收	第35-36页
·LSA处理对Ni/SiC接触性能的影响	第36-45页
·I-V 曲线	第36-37页
·物相分析	第37-39页
·表面形貌	第39-40页
·截面形貌与元素组成	第40-43页
·Ni/SiC界面表征与分析	第43-45页
·本章小结	第45-47页
第五章 总结与展望	第47-50页
·总结	第47-48页
·展望	第48-50页
致谢	第50-52页
参考文献	第52-57页
攻读硕士期间主要研究成果	第57-59页
附件	第59页