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高质量氢化非晶碳化硅膜及纳米硅量子点/非晶碳化硅结构的制备与光电特性

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
目录第9-11页
第一章 绪论第11-21页
   ·硅基太阳能电池的研究背景第11-12页
   ·硅基太阳能电池的发展历史与研究现状第12-16页
   ·本论文的主要内容第16-19页
 参考文献第19-21页
第二章 宽带隙非晶碳化硅膜的制备、结构表征及光电性质研究第21-32页
   ·引言第21-22页
   ·实验细节第22-23页
   ·非晶碳化硅膜的结构与光学性质第23-27页
   ·非晶碳化硅膜的电学性质研究第27-30页
   ·本章小结第30-31页
 参考文献第31-32页
第三章 氢逐层等离子体处理对单层碳化硅薄膜光电性质的影响第32-45页
   ·引言第32-33页
   ·氢逐层等离子体退火技术制备碳化硅薄膜第33页
   ·氢逐层等离子体退火前后碳化硅薄膜的结构表征第33-36页
   ·氢逐层退火技术制备碳化硅薄膜的光学特性第36-41页
   ·氢逐层退火技术制备碳化硅薄膜的电学性质第41-43页
   ·本章小结第43-44页
 参考文献第44-45页
第四章 单层镶嵌在碳化硅中纳米硅量子点及纳米硅量子点/碳化硅的结构研究第45-60页
   ·引言第45-46页
   ·单层非晶碳化硅薄膜退火制备纳米硅量子点材料第46-52页
     ·样品制备与结构表征第46-48页
     ·光学与电学性质研究第48-52页
   ·纳米硅量子点/SiC多层结构的研究第52-57页
     ·样品制备第52页
     ·结构表征第52-54页
     ·光吸收与光伏特性研究第54-57页
   ·本章小结第57-59页
 参考文献第59-60页
第五章 总结与展望第60-63页
   ·本论文的主要结论第60-61页
   ·展望第61-63页
硕士期间发表论文第63-64页
致谢第64-66页

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