新型研磨垫在化学机械研磨制程中的应用

摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
第一章 绪论	第7-23页
·引言	第7-8页
·化学机械研磨工艺简介	第8-22页
·化学机械研磨的原理	第8-9页
·化学机械研磨的设备	第9-11页
·化学机械研磨的耗材	第11-15页
·化学机械研磨的关键特性参数	第15-20页
·化学机械研磨的优势及所面临的问题	第20-22页
·课题内容、背景及意义	第22-23页
第二章 化学机械研磨垫	第23-29页
·研磨垫的简介及分类	第23-24页
·研磨垫的工作原理	第24-25页
·传统型研磨垫研磨工艺所面临的问题	第25-26页
·新型研磨垫的设计原理及特性	第26-28页
·本章小结	第28-29页
第三章 新型研磨垫的实验部分	第29-52页
·化学机械研磨工艺参数的理论分析	第29-33页
·研磨液流量的理论分析	第29页
·研磨头与研磨垫相对运动的理论分析	第29-31页
·研磨头工艺参数的理论分析	第31-32页
·研磨垫工艺参数的理论分析	第32-33页
·其他工艺参数对化学机械研磨的影响	第33页
·新型研磨垫的工艺参数的试验设计及选定	第33-41页
·原始工艺参数在新型研磨垫上实验数据收集	第33-35页
·研磨液流量的实验设计	第35-36页
·研磨头压力参数的实验设计	第36-37页
·研磨头摆动区间的实验设计	第37-38页
·研磨液在研磨垫上流入点的实验设计	第38-40页
·本节结论	第40-41页
·重复性验证	第41-51页
·重复性验证的工艺条件	第41页
·优化的工艺方案在模拟晶圆上的验证	第41-42页
·马拉松验证新工艺方案的稳定性	第42-47页
·优化的工艺方案在产品上的验证	第47-51页
·本章小结	第51-52页
第四章 结论	第52-53页
参考文献	第53-54页
发表论文和参加科研情况说明	第54-55页
致谢	第55页