| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·课题意义 | 第10-11页 |
| ·激光投影光刻机综述 | 第11-14页 |
| ·投影光刻物镜系统 | 第11-12页 |
| ·照明系统 | 第12页 |
| ·激光定位工作台 | 第12-13页 |
| ·光学对位系统 | 第13-14页 |
| ·现有激光投影光刻机误差来源及改进技术 | 第14-15页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第15-16页 |
| 第二章 光学对位技术 | 第16-21页 |
| ·现有光学对位技术综述 | 第16-18页 |
| ·光学对位系统采用的自动对焦方法综述 | 第18-20页 |
| ·爬山法 | 第19页 |
| ·Fibonacci搜索法 | 第19页 |
| ·函数逼近法 | 第19-20页 |
| ·现有对焦方法所存在的问题及本文将要采取的对焦方法 | 第20-21页 |
| 第三章 基于改进自动对焦方法的光学对位系统研究 | 第21-30页 |
| ·本实验采用的系统 | 第21-24页 |
| ·照明系统 | 第21页 |
| ·投影光刻系统 | 第21页 |
| ·激光定位工作台 | 第21-22页 |
| ·光学对位系统 | 第22-23页 |
| ·最佳曝光条件实验设计 | 第23-24页 |
| ·实验结果及讨论 | 第24-29页 |
| ·实验结果 | 第25页 |
| ·实验结果理论解释 | 第25-28页 |
| ·清晰度评价函数 | 第28-29页 |
| ·结论 | 第29-30页 |
| 第四章 基于纯相位匹配滤波的光度型探测对位技术 | 第30-39页 |
| ·对位方法中探测器类型选择 | 第30-31页 |
| ·衍射光栅型对位系统 | 第30页 |
| ·光度型对位系统 | 第30-31页 |
| ·本实验的技术方案 | 第31-39页 |
| ·实验采用的光学系统 | 第31-33页 |
| ·视频监测方案 | 第33-34页 |
| ·离轴对准对位标记、算法及精度 | 第34-35页 |
| ·纯相位匹配滤波器 | 第35-39页 |
| 第五章 关于激光投影光刻机对位系统的展望 | 第39-43页 |
| ·实验过程中出现的问题 | 第39页 |
| ·解决思路 | 第39-43页 |
| ·改进后“米”字型对位标记和X、Y、O对位自由度及对位步骤 | 第39-41页 |
| ·通过调节焦深来改善对位 | 第41-43页 |
| 全文总结 | 第43-46页 |
| ·本硕士学位论文的主要内容 | 第43页 |
| ·本硕士学位论文的独创性工作 | 第43-46页 |
| 参考文献 | 第46-50页 |
| 发表的学术论文及申请的专利 | 第50-54页 |
| 致谢 | 第54页 |